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摘要:為了提高制備鐵電薄膜的可靠性和重復(fù)性，設(shè)計(jì)了基于PLC控制的液態(tài)源MOCVD系統(tǒng)。通過(guò)觸摸屏完成系統(tǒng)控制、工藝參數(shù)設(shè)置及數(shù)據(jù)顯示，實(shí)現(xiàn)了工藝過(guò)程的自動(dòng)化控制。同時(shí)為了確保工藝過(guò)程的安全性，系統(tǒng)設(shè)計(jì)了異常報(bào)警、廢氣處理等組件。實(shí)際
應(yīng)用表明，該系統(tǒng)結(jié)構(gòu)緊湊、自動(dòng)化程度高、控制靈活，適合于沉積制備高質(zhì)量的金屬氧化物薄膜。
關(guān)鍵詞:金屬有機(jī)物 化學(xué)氣相 沉積 可編程控制器 觸摸屏薄膜
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