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為滿足壓電泵系統流體精確控制及小型化的需要，提出利用壓電自感知及神經網絡技術的單腔單振子壓電泵流量自測量方法。壓電泵結構上采用雙壓電晶片振子同時作為執行元件與傳感元件使用。首先分析了流量影響因素，并分析了傳感壓電片輸出信號與振子變形關系。得出：壓電泵流量與振子振動狀態存在函數關系，振子的振動狀態可由傳感壓電信號實時反映，因此在信號中隱含著壓電泵流量信息。據此制作了傳感壓電信號參數測量電路樣機，將參數測量結果作為神經網絡輸入，建立了用于壓電泵流量預測的BP神經網絡模型。實驗結果表明：利用該方法得到的預測值與實驗測量值之間相關系數在0. 999 3以上，最大相對誤差率小于3.46%，預測結果與測量值接近。該流量自測量方法具有較好的準確性。
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