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電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>視頻技術論文>基于視頻共焦顯微鏡光刻對準系統設計研究

基于視頻共焦顯微鏡光刻對準系統設計研究

2009-12-17 | rar | 344 | 次下載 | 3積分

資料介紹

基于視頻共焦顯微鏡光刻對準系統設計研究
王魯賓,周金運,宋超
(廣東工業大學物理與光電工程學院,廣東 廣州 510006)
摘要:針對目前研究的激光投影光刻機的對準需要,設計了一套基于視頻圖像對準原理的激光投影光刻對準系統。詳細分析了共焦顯微鏡和CCD 相關雙采樣圖像處理關鍵技術在本系統中的應用,結果表明CCD 圖像的質量明顯提高,從而提高了視頻圖像對準系統的精度,完全滿足系統分辨精度2.5um 的
要求。
關鍵詞:視頻圖像;對準系統;共焦顯微鏡;相關雙采樣
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