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基于運動控制技術的非球面測量系統:為滿足非球面光學元件表面精度的測量要求,設計和實現了一種高效數控非球面測量系統. 系統基于運動控制技術,構建了四軸聯動的測量工作平臺. 根據數據采集原理,實現對非球面工件表面形位參數進行連續采樣. 整個系統采用工控微機作為上位機非實時控制,下位機采用高速DSP 進行實時控制. 在Windows 操作系統下,用Visaul C + + 開發工具完成了測量系統的軟件開發. 最后通過實驗對測量系統的穩定性及其誤差進行了分析. 實驗結果表明,系統行程為100～120 mm ,系統誤差小于5μm ,能滿足普通光學非球面元件測量精度的要求,同時系統體現了較好的通用性和可靠性.
關鍵詞: 運動控制;非球面;測量系統;開放式數控
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