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單晶片

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單晶片技術(shù)

半導(dǎo)體制造之離子注入工藝

旋轉(zhuǎn)圓盤與旋轉(zhuǎn)輪類似，不同之處在于旋轉(zhuǎn)圓盤不是擺動整個圓盤，而是用掃描離子束的方式在整個晶圓表面獲得均勻的離子注入。下圖說明了旋轉(zhuǎn)圓盤系統(tǒng)。

2023-06-06 標(biāo)簽：集成電路半導(dǎo)體工藝 2602 0

單晶片背面和斜面清潔（上）

介紹在IC制造中，從晶圓背面(BS)去除顆粒變得與從正面(FS)去除顆粒一樣重要。例如，在光刻過程中，； BS顆粒會導(dǎo)致頂側(cè)表面形貌的變化。由于焦深(...

2022-06-27 標(biāo)簽：晶圓單晶片 1132 0

用于光刻膠去除的單晶片清洗技術(shù)

本文的目標(biāo)是討論一種新技術(shù)，它可以在保持競爭力的首席運營官的同時改善權(quán)衡。將開發(fā)濕化學(xué)抗蝕劑去除溶液的能力與對工藝和工具要求的理解相結(jié)合，導(dǎo)致了用于光...

2022-05-07 標(biāo)簽：清洗單晶片 948 0

使用單晶片自旋處理器的背面清潔研究

在這項研究中，我們?nèi)A林科納使用經(jīng)濟特區(qū)單晶片自旋處理器開發(fā)了一種單一背面清潔解決方案，能夠通過蝕刻晶片背面的幾埃來去除任何金屬或外來污染物，無論其涂層如...

2022-05-06 標(biāo)簽：處理器單晶片清潔 529 0

半導(dǎo)體單晶片旋轉(zhuǎn)清洗器中渦流的周期性結(jié)構(gòu)

引言近年來，隨著集成電路的微細(xì)化，半導(dǎo)體制造的清洗方式從被稱為“批量式”的25枚晶片一次清洗的方式逐漸改變?yōu)椤皢螐埵健钡木淮吻逑吹姆绞健Ｔ诎雽?dǎo)體的...

2021-12-23 標(biāo)簽：半導(dǎo)體單晶片 1328 0

關(guān)于單晶的制作過程講解

首先，將前面所獲得的高純度多晶硅融化，形成液態(tài)的硅。之后，以單晶的硅種（seed）和液體表面接觸，一邊旋轉(zhuǎn)一邊緩慢的向上拉起。至于為何需要單晶的硅種，是...

2019-08-25 標(biāo)簽：半導(dǎo)體單晶片 1.3萬 0

智能車路徑識別中的傳感器如何工作？這篇文章告訴你答案

眾所周知,壓電式壓力傳感器的性能主要用瞬變壓力信號發(fā)生器和正弦信號發(fā)生器測量。瞬變壓力信號發(fā)生器是指產(chǎn)生階躍波或其他非周期信號的壓力發(fā)生器,目前,主要用...

2018-01-04 標(biāo)簽：壓力傳感器智能車微壓傳感器 1.1萬 0

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FinFET全稱叫鰭式場效應(yīng)晶體管，是一種新的互補式金氧半導(dǎo)體晶體管。FinFET命名根據(jù)晶體管的形狀與魚鰭的相似性。這種設(shè)計可以改善電路控制并減少漏電流，縮短晶體管的閘長。
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