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標(biāo)簽 > 微機(jī)械
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在現(xiàn)代汽車(chē)技術(shù)中,提升駕駛安全性和操作穩(wěn)定性一直是發(fā)展的重點(diǎn)。橫擺率傳感器作為現(xiàn)代車(chē)輛電子穩(wěn)定程序關(guān)鍵的組成部分,扮演著至關(guān)重要的角色。本文將探討兩種主...
基于不同的結(jié)構(gòu)參數(shù)對(duì)PMUT性能的影響
近年來(lái),微機(jī)械超聲換能器(MUT)技術(shù)一直處于快速發(fā)展階段。與傳統(tǒng)的塊體型超聲換能器相比,MUT具有體積小、質(zhì)量小、集成度高及成本低等特點(diǎn),因此已經(jīng)成為...
CMUT首先由M.I.Haller提出。CMUT 換能器是由多層結(jié)構(gòu)和多層材料構(gòu)成。CMUT電容單元結(jié)構(gòu)如圖 2 所示,從上到下依次為金屬鋁上電極氧化硅...
Pre-CMOS/MEMS 是指部分或全部的 MEMS 結(jié)構(gòu)在制作 CMOS 之前完成,帶有MEMS 微結(jié)構(gòu)部分的硅片可以作為 CMOS 工藝的初始材料。
2022-10-13 標(biāo)簽:mems芯片設(shè)計(jì)微機(jī)械 7893 0
基于氮化鋁壓電微機(jī)械超聲換能器如何植入式生物醫(yī)療
隨著生物醫(yī)療、納米技術(shù)和微電子技術(shù)的不斷演進(jìn),人們對(duì)植入式生物醫(yī)療設(shè)備(IBD)的需求正在迅速增長(zhǎng)。
2022-10-13 標(biāo)簽:pcb醫(yī)療設(shè)備微機(jī)械 3769 0
單晶硅, 作為IC、LSI的電子材料, 用于微小機(jī)械部件的材料,也就是說(shuō),作為結(jié)構(gòu)材料的新用途已經(jīng)開(kāi)發(fā)出來(lái)了。其理由是, 除了單晶SI或機(jī)械性強(qiáng)之外,還...
現(xiàn)代檢測(cè)技術(shù)發(fā)展的總趨勢(shì)
隨著世界各國(guó)現(xiàn)代化步伐的加快,對(duì)檢測(cè)技術(shù)的要求越來(lái)越高。而科學(xué)技術(shù),尤其是大規(guī)模集成電路技術(shù)、微型計(jì)算機(jī)技術(shù)、機(jī)電一體化技術(shù)、微機(jī)械和新材料技術(shù)的不斷進(jìn)...
2019-09-13 標(biāo)簽:微機(jī)械檢測(cè)技術(shù) 2.1萬(wàn) 0
汽車(chē)MEMS市場(chǎng)安裝率節(jié)節(jié)攀升 汽車(chē)安全性能要求越來(lái)越高
微機(jī)械陀螺即MEMS陀螺,也稱(chēng)為硅微陀螺,它的制作是通過(guò)采用半導(dǎo)體生產(chǎn)中成熟的沉積、蝕刻和摻雜等工藝,將機(jī)械裝置和電子線(xiàn)路集成在微小的硅芯片上完成的,最...
2019-05-19 標(biāo)簽:微機(jī)械慣性測(cè)量單元自動(dòng)駕駛 2910 0
微機(jī)械簧片開(kāi)關(guān)為許多MEMS應(yīng)用提供了新的解決方案立即下載
類(lèi)別:電源技術(shù) 2017-08-10 標(biāo)簽:開(kāi)關(guān)mems微機(jī)械 823 0
微機(jī)械加速度計(jì)自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)立即下載
類(lèi)別:測(cè)試測(cè)量 2011-07-16 標(biāo)簽:微機(jī)械加速度計(jì)自動(dòng)測(cè)試 797 0
微機(jī)械慣性傳感器的技術(shù)現(xiàn)狀及展望立即下載
類(lèi)別:傳感器技術(shù)論文 2010-08-17 標(biāo)簽:微機(jī)械 716 0
諧振式微機(jī)械加速度計(jì)設(shè)計(jì)的關(guān)鍵技術(shù)立即下載
類(lèi)別:測(cè)試測(cè)量論文 2010-08-17 標(biāo)簽:微機(jī)械加速度計(jì) 713 0
微機(jī)械慣性傳感器檢測(cè)平臺(tái)的設(shè)計(jì)與應(yīng)用立即下載
類(lèi)別:傳感器技術(shù)論文 2009-11-16 標(biāo)簽:傳感器微機(jī)械 583 0
中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)開(kāi)發(fā)具有多種變形模式的多關(guān)節(jié)人形微機(jī)械
記者8月10日從中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)獲悉,該校微納米工程實(shí)驗(yàn)室吳東教授團(tuán)隊(duì)提出了一種飛秒激光二合一寫(xiě)入多材料的加工策略,制造出了由溫敏水凝膠和金屬納米顆粒組...
在濕法體微機(jī)械加工中,蝕刻特性取決于取向。Si{100}和Si{110}晶片上任何幾何形狀的掩模開(kāi)口的延長(zhǎng)蝕刻導(dǎo)致由最慢蝕刻平面限定的結(jié)構(gòu)。為了制造高尺...
用于化學(xué)分析應(yīng)用的Si各向異性濕法化學(xué)蝕刻
分析化學(xué)小型化的一個(gè)方便的起點(diǎn)在于使用單晶硅作為起始材料,微加工作為使能技術(shù),濕化學(xué)蝕刻作為關(guān)鍵的微加工工具。在這次可行性研究和學(xué)習(xí)中都起到了關(guān)鍵作用。
西北工業(yè)大學(xué)主辦的第25屆世界微機(jī)械會(huì)議在西安舉行
建立了國(guó)家“111”引智基地。與美國(guó)加州理工學(xué)院、加州大學(xué)伯克利分校、德國(guó)慕尼黑工業(yè)大學(xué)、弗萊堡大學(xué)、法國(guó)巴黎高師等多所國(guó)際著名大學(xué)建立了良好合作關(guān)系,...
皮秒激光器的原理及微機(jī)械加工應(yīng)用 超短激光脈沖的激光切除的優(yōu)點(diǎn)在很多應(yīng)用中得到了證實(shí),直到最近也沒(méi)有在工廠(chǎng)的地板上發(fā)現(xiàn)這些應(yīng)用
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