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euv

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EUV光刻技術 - 即將在芯片上繪制微小特征的下一代技術 – 原來是預計在2012年左右投產。但是幾年過去了,EUV已經遇到了一些延遲,將技術從一個節點推向下一個階段,本單元詳細介紹了EUV光刻機,EUV光刻機技術的技術應用,EUV光刻機的技術、市場問題,國產euv光刻機發展等內容。

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euv資訊

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臺積電和三星再次登上摩爾定律階梯

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5納米節點是首個從開始就使用極紫外光刻(EUV)技術做出來的。在波長只有13.5納米的情況下,EUV燈可以在硅上產生非常精細的圖案。其中一些圖案可以用上...

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