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微機電系統(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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目前,氣體傳感器的應用日趨廣泛,在物聯網等泛在應用的推動下,其技術發展方向開始向小型化、集成化、模塊化、智能
固體電解質氣敏傳感器有電流型和電壓型兩種,電流型的靈敏度高,測量范圍大,溫漂小。但它的輸出電流和敏感性能與電極尺寸關系密切。傳統的燒結體型器件難于控制電...
具有代表性的基于金屬氧化物半導體敏感材料(MOS)氣體傳感器已廣泛應用于安全、環境、樓宇控制等領域的氣體檢測,該類傳感器的能耗是制約其大規模布設的核心節...
目前應用最廣泛的麥克風類型是微機電系統(MEMS)電容式麥克風,其主要結構為電容器結構,由背極板、振膜以及背極板和振膜之間的空氣域組成。
“要保證動車組高速平穩行駛,首先要由加速度傳感器對來自X(軸)、Y(徑)和Z(垂)向的應力進行實時監測,并將電信號傳輸給列車指揮系統。”北京交通大學教授...
壓力傳感器有多種不同的應用,其中最常見的應用是氣象監測。壓力傳感器現在已非常普遍。它現在可能就存在你的口袋里!是的,在你的手機里就有一個。你的手機使用壓...
隨著智能設備的迅猛發展,市場需要更高性能的麥克風,而MEMS可以在緊湊的尺寸內麥克風提供高性能和保真度及可靠性,適用于便攜式設備。本文介紹了MEMS麥克...
據麥姆斯咨詢報道,氣壓傳感器是一類非常有用的MEMS器件。它們在物聯網(IoT)中有非常廣泛的應用,從氣象監測到室內資產跟蹤。
據麥姆斯咨詢報道,全球領先的高性能傳感器解決方案供應商艾邁斯半導體(ams)宣布推出新版iAQ-Core模塊,這是一款用于檢測廚房環境中的蒸汽、氣味和煙...
意法半導體推出IIS2DLPC 3軸MEMS加速度計,可以在超低功耗和高分辨率之間動態改變工作模式,在有限的功耗預算內實現高精度測量。
近年來,受益于MEMS技術,傳感器和執行器小型化的同時,性能、功能和靈敏度也得到增強;加上低成本、個性化醫療應用潛力,MEMS器件在醫療和生物領域的應用...
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