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微機電系統(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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想象一下,夾在汽車遮陽板上的選裝抬頭顯示器 (HUD) 將駕駛指令投射到你的風擋玻璃上。再想象一臺具有內置微型投影儀的平板電腦,不論何時何地,都使你能在...
2018-05-15 標簽:mems 5584 0
低功耗應用的MEMS加速儀傳感器功能,如何將之利用在系統設計上
低功耗可利用MEMS加速計(Accelerometer)傳感器來增加電池壽命。傳感器變得越來越省電,所嵌入的各種功能也有助于減少整體系統能耗。舉例來說,...
因為技術和經濟的原因,MEMS傳感器曾經被局限在汽車市場和工業應用領域;今天,隨著MEMS傳感器越來越小,價格越來越低,能效越來越高,設計和應用空間不斷...
剖析MEMS的幾種RF相關應用產品SAW,BAW, FBAR filter
Piezoelectricity這詞來源于希臘語 piezein,表示施加壓力,1880年由兩位法國物理學家(Pierre,Paul-Jacques C...
如何利用Tanner MEMS參數化基本單元庫,迅速創建復雜的表面微加工或流體MEMS器件
即便您要重新設計傳動電機的MEMS傳感器,目標也是讓工作盡可能輕松快捷地完成。利用Tanner L-Edit中的MEMS庫,您可以從大量MEMS器件不同...
單晶硅是最先嘗試使用的芯片基材。硅及二氧化硅具有良好的化學惰性和熱穩定性,而且硅的微細加工技術已趨成熟。即使復雜的三維結構,也可用整體和表面微加工技術進...
然而對于微尺度結構的加工,尤其是高深寬比結構的填充,注塑成型通常做的不如熱壓成型填充率高,對于微結構的填充最有效的辦法是使用變模溫注塑技術,即在一個循環...
實際上,早在1951年,Chang和Read就在金鎳合金中觀察到了形變再加熱能變回原形的這一奇特的現象。Buehler在上世紀60年代發現了NiTi合金...
MEMS壓阻式加速度傳感器的敏感元件由彈性梁、質量塊、固定框組成。壓阻式加速度傳感器實質上是一個力傳感器,他是利用用測量固定質量塊在受到加速度作用時產生...
如今的MEMS設備可包括大量集成、單電壓信號調理電子器件,提供具有極低功耗的模擬和數字接口來幫助實現電池供電的無線產品。
Mentor Graphics的Tanner EDA軟件,針對定制IC、AMS和MEMS設計
Mentor Graphics的Tanner EDA軟件是一套針對定制集成電路(IC)、模擬/混合信號(AMS)和MEMS設計的產品。對物聯網(IoT)...
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