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微機電系統(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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意法半導體為研發組織提供意法半導體THELMA MEMS制程
CMP是為集成電路(IC)和微機電系統(MEMS)設計公司提供芯片設計/開發和小批量制造服務的中介機構,承接大專院校、研究實驗室和企業委托的電路制造服務。
Mic roVision 公司系統工程與先進應用部門總監Jari Honkanen,他向我介紹了MicroVision公司發明的令人稱奇的MEMS移動鏡技術。
2018-02-08 標簽:MEMS 2340 0
MEMS的含義、構成、優勢、市場規模預測、產業鏈相關企業簡介
MEMS,(Micro-Electro Mechanical Systems),也稱為微電子機械系統、微電機系統、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技...
子理論的創立是 20 世紀最輝煌的成就之一 ,它揭示了微觀領域物質的結構 、性質和運動規律,把人們的視角從宏觀領域引入到微觀系統 。一系列區別于經典系統...
汽車內的顯示和信息系統非常豐富,層出不窮地包圍著我們,有些信息非常重要,有些則是為了舒適性或娛樂,有的則僅僅是提供資訊,這很有價值,但又非必需。
SiTime推出MEMS參考時鐘支持新物聯網應用所需的最佳尺寸、功耗和精度
SiTime市場部執行副總裁Piyush Sevalia指出:“SiTime獨到的時序產品致力于為最嚴峻挑戰的設計提供解決方案。伴隨著物聯網的快速發展,...
MEMS振蕩器領域的行業龍頭企業SiTime Corporation宣布面向高級駕駛輔助系統(ADAS)中的汽車網絡應用方向推出新型振蕩器。這些解決方案...
超小型MEMS原子鐘誕生,用于智能手機、傳感器網絡和機器人控制系統
據報道,日本國家信息與通信研究院(NICT)與東北大學和東京工業大學展開合作,并成立壓電材料相關研究小組。近期,該研究小組成功開發了一款超小型原子鐘系統...
日立新型MEMS加速度計比商用MEMS加速度計靈敏度跟高,且功耗降低50%
日立通過在MEMS質量塊上制作貫通孔來降低空氣阻力,并且貫通孔的直徑在上層和下層之間是變化的。上層為電極部分,下層為重量較大的運動層。上述方法可將空氣阻...
TU Wien開發一款硅基MEMS電場測量傳感器 其優勢是干擾正在測量的電場
MEMS電場傳感器的測量原理“目前用于測量電場強度的設備具有一些顯著的缺陷,” TU Wien傳感器和執行器系統研究院的Andreas Kainz解釋稱...
當前以MEMS為基礎的細胞微陣列芯片受到科研人員廣泛重視。通過微加工技術在基底上構建微尺度的圖形結構,并通過物理化學修飾對表面進行改性,使得細胞在特定區...
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