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微機電系統(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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阻礙智能傳感器發展的主要原因!50%的問題都出在這里!什么是MEMS封裝?(附58家頭部企業名單)
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三軸加速度計LIS2DW12開發(3)----檢測活動和靜止狀態
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