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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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最近,經(jīng)過(guò)一段時(shí)間不懈努力,實(shí)現(xiàn)了對(duì) QMI8658 姿態(tài)傳感器的零偏(即常值誤差)進(jìn)行標(biāo)定。過(guò)去我曾整理過(guò)姿態(tài)傳感器誤差參數(shù)相關(guān)的文章,包括《MEMS...
精準(zhǔn)醫(yī)療的MEMS——微流控技術(shù)
微流控芯片(MicrofluidicChip) ,又稱(chēng)為芯片實(shí)驗(yàn)室(Lab-on-a-Chip)或生物 芯片。是利用MEMS技術(shù)將一個(gè)大型實(shí)驗(yàn)室系統(tǒng)縮微...
2023-06-05 標(biāo)簽:mems微流控精準(zhǔn)醫(yī)療 3442 0
適用于中低真空度測(cè)量的AGP3000皮拉尼真空計(jì)
根據(jù)真空計(jì)測(cè)量原理所采用的不同物理機(jī)制,真空計(jì)主要可分為三類(lèi):利用力學(xué)性能(如波爾登真空計(jì)和薄膜電容規(guī))、利用氣體動(dòng)力學(xué)效應(yīng)(如皮拉尼電阻規(guī)和熱電偶規(guī))...
Zepsor設(shè)計(jì)并開(kāi)發(fā)了一種無(wú)源MEMS傳感器,能夠檢測(cè)人體產(chǎn)生的熱能,然后在不需要任何供能的情況下激活自身及其他電子設(shè)備。實(shí)現(xiàn)了零功耗下的“永久在線(...
研究表明:雅培CardioMEMS傳感器將心力衰竭住院率降低44%
心力衰竭是一項(xiàng)全球性健康挑戰(zhàn),影響著全世界超過(guò)6400萬(wàn)人,并且由于頻繁的再次入院而對(duì)醫(yī)療保健系統(tǒng)提出了巨大的要求。而雅培CardioMEMS傳感器等遠(yuǎn)...
2023-05-31 標(biāo)簽:傳感器mems遠(yuǎn)程監(jiān)測(cè) 1092 0
液位檢測(cè)是許多家用電器功能的重要組成部分,例如洗衣機(jī)、洗碗機(jī)都需要通過(guò)控制液位來(lái)實(shí)現(xiàn)多水位的洗滌方式,以達(dá)到節(jié)水目的;熱水器需要在液位過(guò)低時(shí)自動(dòng)補(bǔ)水,防...
摩托羅拉SPI(串行外設(shè)接口)及其變體因其低引腳數(shù)和緊湊的設(shè)計(jì)特性而成為系統(tǒng)設(shè)計(jì)人員的熱門(mén)選擇。隨著安全要求的不斷提高,現(xiàn)在比以往任何時(shí)候都更需要一個(gè)行...
所謂,RF MEMS 開(kāi)關(guān),是一種是小型的微機(jī)械開(kāi)關(guān),功耗低,可以使用傳統(tǒng)的 MEMS 制造技術(shù)生產(chǎn)。它們類(lèi)似于房間中的電燈開(kāi)關(guān),其中觸點(diǎn)打開(kāi)或關(guān)閉以通...
RF MEMS開(kāi)關(guān)的運(yùn)作、優(yōu)勢(shì)
RF MEMS開(kāi)關(guān)是一種小型微機(jī)械開(kāi)關(guān),具有低功耗,可以使用傳統(tǒng)的MEMS制造技術(shù)生產(chǎn)。它們類(lèi)似于房間里的開(kāi)關(guān),通過(guò)打開(kāi)或關(guān)閉接觸點(diǎn)來(lái)傳導(dǎo)信號(hào)。 ...
2023-05-23 標(biāo)簽:memsRF機(jī)械開(kāi)關(guān) 2015 0
RF MEMS 開(kāi)關(guān)的設(shè)計(jì)與優(yōu)化
射頻微機(jī)電系統(tǒng)(RF MEMS)是MEMS技術(shù)的一大重要應(yīng)用領(lǐng)域,也是20世紀(jì)90年代至今研究MEMS技術(shù)各領(lǐng)域中飛速發(fā)展的熱點(diǎn)。射頻微機(jī)械開(kāi)關(guān)體積小,...
從驅(qū)動(dòng)方式和機(jī)械結(jié)構(gòu)的角度介紹了不同的RF MEMS開(kāi)關(guān)類(lèi)型,分析了各類(lèi)MEMS開(kāi)關(guān)的性能及優(yōu)缺點(diǎn),分析了MEMS開(kāi)關(guān)在制作和發(fā)展中面臨的犧牲層技術(shù)、封...
2023-05-23 標(biāo)簽:memsRF驅(qū)動(dòng)方式 1158 0
可穿戴設(shè)備中的傳感器:尺寸越來(lái)越“小”,左右越來(lái)越“大”
MEMS器件具有重量輕、體積小、成本低、功耗小等優(yōu)點(diǎn),非常有利于MEMS器件在電信和消費(fèi)電子等行業(yè)中的應(yīng)用。近年來(lái),MEMS技術(shù)在汽車(chē)行業(yè)尤其是包括安全...
2023-05-20 標(biāo)簽:傳感器MEMS可穿戴設(shè)備 2655 0
電氣化和智能化,會(huì)給汽車(chē)上的MEMS帶來(lái)什么變化
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)是一種緊湊型設(shè)備,在單個(gè)硅芯片上組合各種功能,如機(jī)械、光學(xué)、流體和電子,是醫(yī)療、運(yùn)輸和電信領(lǐng)域發(fā)展的主要支持技術(shù)。MEMS加速度計(jì)...
今天的現(xiàn)代電子設(shè)計(jì)已經(jīng)采用了這種機(jī)械知識(shí)并將其制成傳感器。這類(lèi)傳感器可采用微機(jī)電系統(tǒng) (MEMS) 進(jìn)行制造。傳感器技術(shù)可實(shí)現(xiàn)傳感器融合,從而將多個(gè)傳感...
2023-05-16 標(biāo)簽:傳感器mems物聯(lián)網(wǎng) 1226 0
TDLS檢測(cè)利用光電二極管測(cè)量穿過(guò)氣室的激光強(qiáng)度。根據(jù)比爾-朗伯(Beer–Lambert)定律,紅外吸收技術(shù)的靈敏度與吸收路徑的長(zhǎng)度成正比,這意味著性...
與傳統(tǒng)振蕩器相比,MEMS振蕩器究竟有哪些優(yōu)勢(shì)呢
便攜式和可穿戴電子產(chǎn)品的興起,推動(dòng)了降低包括振蕩器在內(nèi)的各類(lèi)電子元件的能耗和占地面積的需求。基于微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)的振蕩器將精確的輸出頻率和低功...
復(fù)旦大學(xué)在新型MEMS基ppb級(jí)硫化氫氣體傳感器研究中取得進(jìn)展
隨著新材料的研究不斷深入,MOF材料在氣體傳感領(lǐng)域展現(xiàn)了極大的應(yīng)用前景。MOF多孔納米材料由金屬離子和有機(jī)配體自組裝而成,具有孔隙率高、比表面積大、孔道...
MEMS技術(shù)的主要分類(lèi)及應(yīng)用
傳感MEMS技術(shù)是指用微電子微機(jī)械加工出來(lái)的、用敏感元件如電容、壓電、壓阻、熱電耦、諧振、隧道電流等來(lái)感受轉(zhuǎn)換電信號(hào)的器件和系統(tǒng)。
2023-04-25 標(biāo)簽:傳感器mems觸覺(jué)傳感器 1083 0
MEMS芯片(微電子機(jī)械系統(tǒng)芯片)是一種新型的集成芯片,也可以被稱(chēng)為微機(jī)電系統(tǒng)芯片(Micro-electromechanical System Chi...
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