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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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本文重點(diǎn)描述運(yùn)用MEMS微機(jī)械加工工藝技術(shù)設(shè)計(jì)、加工、生產(chǎn)胎壓傳感器IC芯片,希望對大家學(xué)習(xí)MEMS有所幫助
2012-12-11 標(biāo)簽:MEMS 8258 0
ST LYPR540AH MEMS三軸運(yùn)動檢測方案
本文介紹LYPR540AH MEMS運(yùn)動傳感器的主要特性,方框圖和應(yīng)用電路圖。
本內(nèi)容介紹了村田制作所的MEMS傳感器,詳細(xì)講解了陀螺儀,加速度計(jì),組合傳感器等知識點(diǎn)。
什么是3D MEMS?三維微電子機(jī)械系統(tǒng)
MEMS是一種把微型機(jī)械組件(如傳感器、制動器等)與電子電路集成在同一顆芯片上的半導(dǎo)體技術(shù)。三維微電子機(jī)械系統(tǒng)(3D-MEMS),是將硅加工成三維結(jié)構(gòu),...
MEMS生產(chǎn)或與COMS工藝融合,但不一定什么工藝都可以和COMS工藝融合在一起,實(shí)現(xiàn)標(biāo)準(zhǔn)化,需要產(chǎn)業(yè)鏈的支撐。
我們將以LIS35DE和LIS331DLH芯片內(nèi)部的功能模塊作為線索,介紹意法半導(dǎo)體加速度傳感器的性能特點(diǎn),并介紹如何配置傳感器的功能模塊來實(shí)現(xiàn)特定的應(yīng)用。
本內(nèi)容介紹了石英和全硅MEMS時鐘振蕩器,概述了兩者之間的區(qū)別與比較,性能優(yōu)勢分析等。
如何利用MEMS優(yōu)化移動機(jī)器人的導(dǎo)航性能
如今MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))應(yīng)用越來越廣泛,MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))陀螺儀可提供反饋檢測機(jī)制,對優(yōu)化導(dǎo)航系統(tǒng)性能非常有用.
拓展軍用與航空領(lǐng)域 高性能MEMS有哪些苛刻要求?
在高價值的軍用與航空領(lǐng)域,MEMS壓力傳感器市場今年將以兩位數(shù)的速度強(qiáng)勁增長,而且將來在多個利潤豐厚的應(yīng)用領(lǐng)域有充足的擴(kuò)張空間。
隨著消費(fèi)類電子的市場崛起,MEMS市場在2012年得到迅猛發(fā)展,各大半導(dǎo)體廠商紛紛打出組合拳,六、九、十軸傳感器皆問世,那么MEMS的市場發(fā)展和技術(shù)難點(diǎn)...
ST吳衛(wèi)東:微機(jī)電系統(tǒng)去年銷售收入翻番
11月28日,意法半導(dǎo)體(以下簡稱ST)今日在京舉行2012年iNEMO校園設(shè)計(jì)大賽總決賽頒獎典禮,ST大中華暨南亞區(qū)微電機(jī)系統(tǒng)傳感器高級市場部經(jīng)理吳衛(wèi)...
借力傳感融合技術(shù) MEMS搶占移動設(shè)備商機(jī)
MEMS在移動市場的滲透率將節(jié)節(jié)攀升.近期更利用系統(tǒng)封裝(SiP)與智能軟件平臺,發(fā)展MEMS傳感器融合技術(shù),幫助MEMS企業(yè)瓜分更多的移動設(shè)備商機(jī)
電子發(fā)燒友網(wǎng)訊【編譯/Triquinne】: MEMS器件無處不在。他們幾乎已經(jīng)滲透到我們生活的每一個方面,永遠(yuǎn)地改變了我們和數(shù)字環(huán)境的交互關(guān)系。不...
2012-11-29 標(biāo)簽:MEMSMEMS加速度計(jì)MEMS器件 1775 1
MEMS麥克風(fēng)未來設(shè)計(jì)之路在何方?
博世集團(tuán)旗下的Akustica公司最近發(fā)布了一系列高清晰度的MEMS麥克風(fēng),他們聲稱這系列產(chǎn)品能夠滿足消費(fèi)電子產(chǎn)品的廣泛應(yīng)用。
2012-11-29 標(biāo)簽:MEMS語音識別MEMS麥克風(fēng) 1061 1
用MEMS和MR傳感器實(shí)現(xiàn)嵌入式系統(tǒng)姿態(tài)測量
傳統(tǒng)的姿態(tài)測量系統(tǒng)采用捷聯(lián)式慣導(dǎo)系統(tǒng)(SINS),相比平臺式慣導(dǎo)系統(tǒng)而言,其具有 體積相對更小,成本相對更低,易于安裝和維護(hù)并且可靠性更高的有點(diǎn),因...
2012-11-21 標(biāo)簽:MEMS嵌入式系統(tǒng)MR傳感器 1038 0
TDK開發(fā)出頻率特性平穩(wěn)、不易失真的MEMS麥克風(fēng)
TDK開發(fā)出了可聽波段的頻率特性基本為平坦?fàn)畈⒁种屏耸盏酱舐曇魰r失真的MEMS(微小電子機(jī)械系統(tǒng))麥克風(fēng)。這是利用自主封裝技術(shù)減小封裝內(nèi)部容積來實(shí)現(xiàn)的。...
分析穩(wěn)定系統(tǒng)中的慣性MEMS的頻率響應(yīng)
要了解IMU的帶寬及其在系統(tǒng)穩(wěn)定性中的角色,應(yīng)該使用分析、建模、測試數(shù)據(jù)以及這些因素的迭代。首先要量化可用信息,做出假設(shè)以彌補(bǔ)所有漏洞,然后制定計(jì)劃來優(yōu)...
2012-11-01 標(biāo)簽:MEMS頻率響應(yīng)穩(wěn)定系統(tǒng) 2589 0
2011年全球微機(jī)電(Micro Electro Mechanical System;MEMS)前4大廠依序?yàn)榈轮輧x器(Texas Instrument...
2012-10-30 標(biāo)簽:MEMS意法半導(dǎo)體 1236 0
物聯(lián)網(wǎng)2016或大爆發(fā),M2M至關(guān)重要?
北京時間10月29日凌晨消息,出席第三屆中國國際物聯(lián)網(wǎng)大會時,中國聯(lián)通物聯(lián)網(wǎng)辦公室主任馬彥感嘆,盡管物聯(lián)網(wǎng)終端出貨量每年有30%復(fù)合增長率,但物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)...
2012-10-29 標(biāo)簽:RFIDMEMS物聯(lián)網(wǎng) 1864 0
ADI首款MEMS加速度計(jì)ADXL350具最小與最大偏移敏感度
美商亞德諾(Analog Devices, Inc., ADI)公司推出首款具有相對于完整溫度範(fàn)圍最小/最大偏移敏感度的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)加速度計(jì) ...
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