正如電路的高度集成化一樣，光通信系統(tǒng)未來的發(fā)展方向必然也是模組化與封裝小型化，這就對構(gòu)成光系統(tǒng)的元器件提出了小型化和模塊化的要求。封裝結(jié)構(gòu)緊湊的MEMS VOA應運而生，它除了單通道的應用外，還經(jīng)常與其它光器件一起組成模塊使用，具體包括：與可重構(gòu)的光分插復用器(Reconfigurable Optical Add/Drop Multiplexer，ROADM)組成增益均衡ROADM，與MUX(Multiplexer)組成增益平衡VMUX模塊結(jié)構(gòu)，與EDFA組成增益平衡放大器，與放大自發(fā)輻射(ASE)光源組成增益控制器，等等。

3.1 低成本OADM模塊

作為當前光纖通信網(wǎng)絡的一種重要的節(jié)點設備，OADM無需光電轉(zhuǎn)換即可實現(xiàn)從環(huán)路中上/下載一路或多路波長信道。使用OADM可以減少光信道上信息的處理和等待時間，減少節(jié)點上設備的復雜性，且可使光信號透明地傳輸和上/下載不同光波長的信息或各種業(yè)務。

在ROADM的產(chǎn)業(yè)化遭受成本瓶頸時，針對運營商對網(wǎng)絡業(yè)務比較完善的規(guī)劃，光迅科技推出了各種低成本的OADM模塊。該系列產(chǎn)品結(jié)構(gòu)簡單，可選擇性地預留升級端口，支持靈活的擴展升級功能，上下路波長較少時成本低，具備通道功率均衡能力，可對上下路功率進行實時監(jiān)測。

模塊的外形尺寸為：138×130×17.8mm，適用于100GHz系統(tǒng)，同時上下8路固定的波長，并預留上下其它波長的升級口。模塊由DWDM(100GHz)、TAP-PD和MEMS VOA集成，其光路如下圖4所示。

圖4 光迅科技OADM模塊原理圖

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DWDM和TAP-PD的制作技術(shù)已非常成熟且相對固定，采用MEMS VOA，使得低成本OADM模塊具備優(yōu)越的指標：所有下路IL都小于4.6dB，所有上路IL都小于5.6dB，另兩個通路的IL均小于4.2dB，回損大于40dB。偏振模色散(PMD)小于0.1ps，響應時間小于5ms，驅(qū)動電壓統(tǒng)一為5VDC，整個模塊的功耗不超過100mW。

不論是OADM還是ROADM結(jié)構(gòu)，由于每個波長來自不同的網(wǎng)絡，因此接受功率各不相同，必須借助小型化封裝的MEMS VOA和TAP PD，以確保各信道功率的均衡。

3.2 VMUX模塊

VMUX是信道光功率預均衡合波模塊，具有合波和各信道光功率預均衡的功能，即可對DWDM系統(tǒng)的每個通道光功率進行均衡，實現(xiàn)光信號的長距離無誤碼傳輸。VMUX模塊提供多路光信道可調(diào)光衰減及合波，可在電路控制下調(diào)節(jié)輸入與輸出之間的光衰減量。在光通信線路中，經(jīng)過EDFA之前的各波長通道的光，都必須用VUMX模塊進行功率均衡，以保證各通道的光信號功率控制在可允許的范圍內(nèi)，避免非均衡增益經(jīng)EDFA放大而導致比較嚴重的非線性效應。

圖5 VMUX模塊結(jié)構(gòu)示意圖

如圖5，VMUX模塊由均衡功率的VOA組和合波的MUX構(gòu)成，其常見結(jié)構(gòu)有兩種：一種是用可靠的MEMS VOA陣列與基于成熟的介質(zhì)膜濾光器(TFF)技術(shù)構(gòu)建的MUX實現(xiàn)，另一種是用新興的PLC VOA陣列與基于波導陣列光柵(AWG)技術(shù)構(gòu)建的MUX實現(xiàn)。兩者應用的場合各不相同，前者常用在信道數(shù)較少(n≤16)的系統(tǒng)中，此時的性價比高，MEMS VOA組無需配備制冷器與溫控電路，無需進行散熱設計，且整個模塊具有更小的PDL與偏振膜色散(PMD)，更高的隔離度和更低的功耗。

3.3 增益可調(diào)EDFA模塊

作為光通信網(wǎng)絡中不可或缺的光器件，EDFA固有的增益曲線并不平坦，導致經(jīng)過分波后各信道的增益互不相同，使EDFA各信道的輸出信號功率和光信噪比(OSNR)存在一定的差異。這種功率和OSNR的不均衡性在級聯(lián)EDFA中的積累，可能會導致不良的后果——接收功率的不均衡程度超過接收機允許的動態(tài)范圍，造成信號丟失;累積的信噪比不均衡，造成某信道的誤碼率超出系統(tǒng)的要求;增益壓縮不充分，造成接收信號功率低于接收機靈敏度(在給定比特率下)，產(chǎn)生失真。

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采用可變光衰減器實時調(diào)節(jié)增益斜率，使EDFA放大后的信號光在整個波段內(nèi)比較平坦。由增益曲線的抖動(Ripple)可知，需要調(diào)節(jié)的衰減范圍一般只有幾個dB，反射式MEMS VOA是一個很好的選擇。它不僅具備成本低、快速響應、體積小、衰減精度高、低色散等顯著優(yōu)點外，還有較低的WDL、TDL和PDL，能極好地滿足系統(tǒng)的使用要求。

圖6 增益平坦EDFA結(jié)構(gòu)示意圖

如圖6，是控制EDFA動態(tài)增益斜率的有源增益斜率均衡器(AGSC)，在應用上要優(yōu)于靜態(tài)增益平坦技術(shù)。當輸入信號光功率發(fā)生變化時，經(jīng)過MEMS VOA到達EDFA的輸入光功率隨之變化，通過TAP PD的監(jiān)測功率反饋電路，來調(diào)節(jié)泵浦源的光功率和MEMS VOA的衰減量，對所產(chǎn)生的增益傾斜進行補償，以確保EDFA輸出光功率的增益平坦。

4 總結(jié)與討論

隨著DWDM技術(shù)的飛躍發(fā)展，VOA也得到了越來越廣泛地應用，主要用于DWDM系統(tǒng)中各信道的功率均衡、實現(xiàn)增益平坦、動態(tài)增益平衡和功率過載保護。在各種不同制造技術(shù)的VOA中，基于MEMS的VOA具備顯著的優(yōu)勢，也吸引了全球光通信廠商的目光。MEMS VOA常與DWDM、EDFA和TAP PD等一起組合成模塊使用，在光通信系統(tǒng)小型化與集成化的前行之路上，已做出了巨大的貢獻。