瑞樂(lè)半導(dǎo)體文章

• 瑞樂(lè)半導(dǎo)體——AVS 無(wú)線校準(zhǔn)測(cè)量晶圓系統(tǒng)讓每一片晶圓都安全抵達(dá)終點(diǎn)2025-04-24 14:57

  

  AVS 無(wú)線校準(zhǔn)測(cè)量晶圓系統(tǒng)就像給晶圓運(yùn)輸過(guò)程裝上了"全天候監(jiān)護(hù)儀"，推動(dòng)先進(jìn)邏輯芯片制造、存儲(chǔ)器生產(chǎn)及化合物半導(dǎo)體加工等關(guān)鍵制程的智能化質(zhì)量管控，既保障價(jià)值百萬(wàn)的晶圓安全，又能讓價(jià)值數(shù)千萬(wàn)的設(shè)備發(fā)揮最大效能，實(shí)現(xiàn)降本增效。

  半導(dǎo)體 無(wú)線 晶圓 195瀏覽量

• 瑞樂(lè)半導(dǎo)體——On Wafer WLS-WET 濕法無(wú)線晶圓測(cè)溫系統(tǒng)是半導(dǎo)體先進(jìn)制程監(jiān)控領(lǐng)域的重要?jiǎng)?chuàng)新成果2025-04-22 11:34

  

  On Wafer WLS-WET無(wú)線晶圓測(cè)溫系統(tǒng)是半導(dǎo)體先進(jìn)制程監(jiān)控領(lǐng)域的重要?jiǎng)?chuàng)新成果。該系統(tǒng)通過(guò)自主研發(fā)的核心技術(shù)，將溫度傳感器嵌入晶圓集成，實(shí)現(xiàn)了晶圓本體與傳感單元的無(wú)縫融合。傳感器采用IC傳感器，具備±0.1℃的測(cè)量精度和10ms級(jí)快速響應(yīng)特性，可實(shí)時(shí)捕捉濕法工藝中瞬態(tài)溫度場(chǎng)分布。

  Wafer wafer測(cè)試 半導(dǎo)體 晶圓 66瀏覽量