微機電系統(MEMS)專題
微機電系統，英文名稱是MEMS(Micro Electro Mechanical systems的縮寫)，其是隨著半導體集成電路微細加工技術和超精密機械加工技術的發展而發展起來的.電子發燒友為大家提供了詳盡的技術知識。
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