據(jù)北京亦莊官方消息，位于北京經(jīng)開區(qū)的北京京儀自動化裝備技術(shù)有限公司（以下簡稱“京儀裝備”），成功研發(fā)出國內(nèi)首臺晶圓自動翻轉(zhuǎn)倒片機(jī)，破解了國產(chǎn)晶圓自動翻轉(zhuǎn)倒片機(jī)自動化難題。

晶圓自動翻轉(zhuǎn)倒片機(jī)是一項難度極高的工藝，用力過猛容易導(dǎo)致晶圓表面破損，力度太小晶圓則會自動脫落，加之晶圓表面的高精密性，倒片機(jī)只能夾住晶圓的兩邊進(jìn)行自動翻轉(zhuǎn)，這就給自動翻轉(zhuǎn)倒片機(jī)的研發(fā)帶來了難題。

據(jù)了解，晶圓倒片機(jī)是用來調(diào)整集成電路產(chǎn)線上晶圓生產(chǎn)材料序列位置的一款設(shè)備，它的任務(wù)是將產(chǎn)線上的晶圓通過制程需要進(jìn)行分批、合并、翻轉(zhuǎn)后進(jìn)行下一道程序，這就要求晶圓倒片機(jī)擁有極高的傳送效率和潔凈程度。

目前，京儀裝備研發(fā)的首臺晶圓自動翻轉(zhuǎn)倒片機(jī)已經(jīng)在上海集成電路研發(fā)中心得到成功應(yīng)用。早期型號倒片機(jī)則已經(jīng)在中芯國際、長江存儲等多家企業(yè)得到應(yīng)用。
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