近日，由電科裝備所屬北京中電科公司牽頭承擔的國家02科技重大專項 “300mm超薄晶圓減薄拋光一體機研發與產業化” 項目順利通過國家科技部的正式驗收。

目前，國產300mm超薄晶圓減薄拋光一體機正在國內封裝龍頭企業實現工藝應用，各方面性能達到國際同類設備水平，滿足先進封裝工藝需求，大幅降低了國內封裝廠的采購成本。

在國家02科技重大專項的支持下，北京中電科公司歷經α、β、γ機型三個階段，攻克超薄晶圓減薄的核心技術、壓力控制技術、亞微米清洗技術以及薄片傳輸等關鍵技術，取得上百項國內發明專利，三項國際發明專利，成功研發出國內首臺具有自主知識產權并滿足大生產的300mm減薄拋光一體機，具備晶圓粗磨、精磨、非接觸測量、拋光、清洗、傳輸、保護膜處理等全自動流片能力。

中電科公司“300mm超薄晶圓減薄拋光一體機研發與產業化”項目順利通過驗收；航天工程公司國家級重點專項日投煤3500噸氣化爐的輻射廢鍋內件出廠；中冶京誠“基于大數據的鋼鐵生產全流程質量分析系統研究與應用”科技成果通過評價。4月以來，北京經開區企業科技創新好消息不斷，面向世界高技術前沿、面向國家戰略需求的“硬核”產品和技術取得積極進展，創新驅動發展不斷邁出新步伐。

日常生活中使用的超薄手機、電腦等電子設備的生產都離不開減薄拋光一體機，這款設備此前一直被國外公司壟斷。

在國家02科技重大專項的支持下，中電科公司對工藝需求進行項目攻關，突破關鍵技術、系統集成、工藝驗證與優化，歷經三個階段，攻克超薄晶圓減薄的核心技術、壓力控制技術、亞微米清洗技術以及薄片傳輸等關鍵技術，取得上百項國內發明專利、3項國際發明專利，成功研發出國內首臺具有自主知識產權并滿足大生產的300mm減薄拋光一體機。目前，該型減薄拋光一體機正在國內封裝龍頭企業實現工藝應用，大幅降低了國內封裝廠的采購成本。

4月16日，從路東區的航天長征化學工程股份有限公司傳來喜訊，其承擔的科技部國家級重點研發計劃“煤炭清潔高效利用和新型節能技術‘重點專項’大規模干煤粉氣流床氣化技術開發及示范”項目——日投煤3500噸氣化爐的輻射廢鍋內件出廠。該爐型為目前世界最大級別的粉煤氣化爐。

據了解，日投煤量3500噸氣化爐是航天工程公司為大規模干煤粉氣流床氣化技術開發及示范項目設計研發的超大型粉煤氣化爐。該爐型具有產量更大、技術指標更優、一次性投資更省、運行成本更低、環保水平更高等優勢，代表著現代煤化工最先進的煤氣化技術水平。

在中冶京誠，公司完成的“基于大數據的鋼鐵生產全流程質量分析系統研究與應用”日前通過中國金屬學會評價，一致認為該技術達到了國際先進水平。該成果針對目前鋼鐵企業在質量管控和分析方面面臨的共性問題，利用大數據及人工智能技術，突破了傳統IT信息化系統框架結構、技術方法、適用領域等局限性，研究成果已在濟源鋼鐵、中國一重、江陰興澄特鋼等多個不同類型的企業成功應用。

深耕核心技術，打造“硬核”產品。相關負責人說，北京經開區堅持圍繞關鍵核心技術突破，實施“白菜心”工程，發布關鍵核心技術攻關清單，重點推進國家集成電路創新中心、京津冀綜合創新中心建設，圍繞產業鏈部署創新鏈，構建良好的創新生態，努力推動創新工作取得突破。

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