荷蘭阿斯麥(ASML)公司的光刻機作為世界上最貴最精密的儀器,相信大家都有耳聞,它是加工芯片的設備。其最先進的EUV(極紫外光)光刻機已經能夠制造7nm以下制程的芯片,據說一套最先進的7納米EUV光刻機價格高達1.2億美元,比一架波音737都貴。 下面是最近ASML公布的極紫外光光刻機內部加工時的鏡頭,十分震撼:
在這臺光刻機中,每秒在真空環境中,從底部容器流出5萬滴融化的錫液,一對激光束照射每一滴液體產生等離子體,釋放出更短的波長,超高精度的反射鏡引導光線....7納米極紫外線光刻機,分為13個系統,3萬個分件,作動時每一分都要精 每臺光刻機的裝配大約需要50000個零件左右,像德國蔡司的光學設備,美國Cymer的光源都是阿斯麥的上游供應商。阿斯麥創立于1984年,是從飛利浦獨立出來的一個半導體設備制造商,總部位于荷蘭費爾德霍芬。
原文標題:揭秘:1.2億美元光刻機內部視頻曝光,像科幻片一樣震撼!
文章出處:【微信公眾號:傳感器技術】歡迎添加關注!文章轉載請注明出處。
-
紫外線
+關注
關注
1文章
373瀏覽量
21631 -
光刻機
+關注
關注
31文章
1163瀏覽量
48091
原文標題:揭秘:1.2億美元光刻機內部視頻曝光,像科幻片一樣震撼!
文章出處:【微信號:WW_CGQJS,微信公眾號:傳感器技術】歡迎添加關注!文章轉載請注明出處。
發布評論請先 登錄
光刻機巨頭ASML業績暴雷,芯片迎來新一輪“寒流”?
電子直寫光刻機駐極體圓筒聚焦電極
成都匯陽投資關于光刻機概念大漲,后市迎來機會
不只依賴光刻機!芯片制造的五大工藝大起底!

什么是光刻機的套刻精度

如何提高光刻機的NA值

組成光刻機的各個分系統介紹

用來提高光刻機分辨率的浸潤式光刻技術介紹

光刻機的工作原理和分類
一文看懂光刻機的結構及雙工件臺技術

評論