光刻機(jī)是當(dāng)今世界上最精密的儀器，我們使用的電子產(chǎn)品的芯片都是用光刻機(jī)刻出來的，怎樣讓光刻機(jī)在納米精度內(nèi)作長距離移動，一直是困擾科學(xué)家的難題，今天我把我設(shè)計的光刻機(jī)用納米位移系統(tǒng)分享給大家，希望能給需要的朋友一些幫助。納米位移系統(tǒng)如下面介紹：納米位移系統(tǒng)由壓電晶體Y、電磁鐵H1、軟磁吸盤H2、絲桿S、螺母SM組成如圖所示：

光刻機(jī)用納米位移系統(tǒng)設(shè)計

下面介紹一下工作原理：電磁鐵H1與軟磁吸盤H2隔空排列，先給電磁鐵H1通電，這樣電磁鐵H1就會吸引軟磁吸盤，當(dāng)給壓電晶體Y施加電壓后，壓電晶體Y會產(chǎn)生微小形變，形變尺寸在納米范圍內(nèi)，壓電晶體Y的形變由連桿傳到電磁鐵H1上，電磁鐵H1會繞軸作納米長度的旋轉(zhuǎn)，由于電磁鐵H1通電后與軟磁吸盤H2是吸引的，電磁鐵H1的轉(zhuǎn)動會帶動軟磁吸盤H2旋轉(zhuǎn)，吸盤H2又與絲桿相連，這樣絲桿也進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，由于螺母是固定的，不能旋轉(zhuǎn)，絲桿的旋轉(zhuǎn)會讓螺母產(chǎn)生位移。然后給電磁鐵H1斷電，壓電晶體Y也斷電，電磁鐵H1與壓電晶體Y就會恢復(fù)原位，軟磁吸盤H2與電磁鐵H1是隔空的，給電磁鐵H1斷電后，電磁鐵H1對軟磁吸盤H2失去吸引力，軟磁吸盤H2就會保持旋轉(zhuǎn)后的狀態(tài)。就這樣反復(fù)給電磁鐵H1與壓電晶體Y通電、斷電，螺母就會持續(xù)在納米長度內(nèi)位移，多次位移就能讓螺母在較長的絲桿上作長距離運動。 好了，就介紹到這里吧！

審核編輯 黃宇