有“臺灣 DRAM 教父”之稱，同時也是前紫光全球執行副總裁高啟全成立的晶芯半導體黃石公司是湖北首家晶圓再生工廠。 4 月 29 日在黃石開發區舉行投片儀式，高啟全親自出席該儀式。

高啟全對《問芯Voice》表示，晶芯半導體一期規劃的月產能 10 萬片已于 2020 年 7 月開工建設，2021 年 4 月底部分試產，2021 年 6 月全面投產，并預計于 2022 年上半年達產。

晶芯半導體項目是由高啟全與臺灣半導體設備與再生晶圓供應商廠辛耘企業所創立，總投資 23.13 億元，用地面積 72 畝，分四期建設。該項目全部建成達產后，預計可達月產能 40 萬片，年營業收入可達 10.08 億元，年稅收 1.43 億元。

高啟全表示，中國大陸的 12 寸晶圓廠投資需要有完善的供應鏈來保障工廠運營穩定及成本競爭力，這也是 2020 年 9 月他離開紫光集團，轉戰半導體供應鏈領域的主要原因之一。他除了在黃石創立第一家芯片原物料公司，也在其他省份地區投資晶圓廠所需要的關鍵原物料。

大陸的半導體晶圓廠一座座蓋起，對晶圓再生需求非常強勁，短板是沒有本地供應的晶圓再生廠，都要從海外運到大陸，成本無形中墊高。

再生晶圓每片單價約 20 ～ 30 美元，回收可再利用 4 ~ 7 次，如果把再生晶圓從臺灣運到大陸使用，運費等因素會導致每片晶圓的成本多出 4 美元。長期來看，工廠要設立在大陸供應本地晶圓廠才會有競爭力。

對高啟全而言，離開紫光后加入大陸半導體供應鏈的打造，既不與紫光集團相競爭，又能協助現在眾多的本地晶圓廠強化生產競爭力。

晶芯半導體黃石公司初期是生產晶圓再生，全期共有四條生產線，總產能每月 40 萬片，配合國內 12 寸廠的產能需求同步投資擴充。目前一期 10 萬片的廠房建設和機臺安裝經歷了 9 個月時間順利完成。

高啟全也強調，該廠房采用的生產設備是最先進的機型，廠務系統和潔凈車間的設計能保障穩定、安全、無污染生產，在今年底會導入自動化搬運系統。

硅片在晶圓廠中的應用可以分為兩大類：正片是被直接用在半導體加工，包括拋光片、外延片等；另一種是用于監控測試的硅片，包括控片（monitor wafers）、檔片/測試片（dummy wafers）、測試晶圓（Test Wafer）。

所謂再生晶圓（reclaim wafer），并非指IC 不良品的再利用，而是將芯片制造中使用過的控片（Monitor wafer）及檔片/測試片（Dummy wafer）提供回收再利用服務，主要通過刻蝕、輪磨、化學機械拋光及清洗等工藝，將晶圓表面恢復到初始狀態，再投入生產線使用，主要客戶為全球晶圓制造及晶圓代工廠商。

控片主要用來監控機臺的制程能力是否穩定、生產環境是否潔凈。通過使用控片，可以對離子注入、薄膜沉積、光刻、刻蝕和研磨等工藝中的電阻率、薄膜沉積速率、刻蝕速率、研磨速率、均勻性等進行監測。

擋片的作用主要是維持機臺的穩定，使用對象包括爐管、暖機擋片、傳送擋片等。在爐管中，擋片被用來隔絕工藝條件較差的部分，以及填充產品不足時空出的位置，對爐管內的氣流進行阻擋分層，并讓溫度均勻分布。

控片和擋片的來源可以是全新晶圓或是是再生晶圓。全新晶圓是由晶棒兩側品質較差處所切割出來的部分。再生晶圓是指回收重復利用的擋控片。由于擋控片的消耗量大，若都使用全新的擋控片，會導致成本過高，因此就有了晶圓再生的生意出現。

根據 2018 年 SEMI 報告顯示，再生矽晶圓市場 2017 年達 5.1 億美元，2018 年上揚 19% 并達到 6.03 億美元的規模，主要是日本供應商稱霸市場，在 8 寸和 12 寸再生晶圓產能方面占比最高。

目前全球前四大再生晶圓供應商龍頭為日本 RS Technologies，其他四家為臺灣供應商：升陽、中砂與辛耘。

與高啟全一起攜手創立晶芯半導體的辛耘企業，主要從事三大業務：代理設備、自制設備與再生晶圓，占比最大的是代理設備約占 58%。

大陸幾乎所有 12 吋晶圓廠都是辛耘的客戶，因此辛耘對大陸半導體產業市況非常熟悉，認為要在大陸本地設廠，就近服務當地客戶，才能符合效率和成本。

目前辛耘在臺灣的再生晶圓業務月產能約為 12 萬片，預計在臺廠房今、明兩年要再擴 4 萬片，上看 16 萬片。

原文標題：“臺灣DRAM教父”高啟全出席黃石晶芯投產儀式，再生晶圓項目6月全面啟動

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責任編輯：haq