光刻機干啥用的
光刻機是芯片制造的核心設備之一。目前有用于生產的光刻機，有用于LED制造領域的光刻機，還有用于封裝的光刻機。光刻機是采用類似照片沖印的技術，然后把掩膜版上的精細圖形通過光線的曝光印制到硅片上。
在加工芯片的過程中，光刻機通過一系列的光源能量、形狀控制手段，將光束透射過畫著線路圖的掩模，經物鏡補償各種光學誤差，將線路圖成比例縮小后映射到硅片上，然后使用化學方法顯影，得到刻在硅片上的電路圖。
光刻機也是芯片產業中寶貴且技術難度最大的機器，制造一臺高端的光刻機達上億元。
審核編輯：姚遠
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發表于 03-21 11:31
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