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集成光子制備工藝的研究

華林科納半導體設備制造 ? 來源:華林科納半導體設備制造 ? 作者:華林科納半導體設 ? 2022-02-24 14:55 ? 次閱讀

摘要

本文主要研究集成光子的制備工藝。基于III-V半導體的器件, 這項工作涵蓋了一系列III-V材料以及各種各樣的設備。 最初,設計,制造和光學表征研究了鋁砷化鎵波導增強光學非線性相互作用。 基于我們的研究結果,我們提出了一種新型的AlGaAs集成非線性光學波導。波導是集成光子器件中極具吸引力的元件,因為它們控制光線的空間、光譜和色散特性。

集成光子學

光子學,也被稱為光學,是生成的科學和工程,應用光子的控制和檢測; 例如制造業、成像、下一代顯示、國防技術、生物識別安全、傳感、圖像處理、照明、通信、數據存儲、天文學計算等等。

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審核編輯:符乾江

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