MEMS傳感器在電子煙中的應(yīng)用

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電子煙及MEMS

電子煙不含焦油及懸浮顆粒等有害成分，隨著人們健康意識(shí)的提升，抽電子煙正成為一種趨勢(shì)。并且，電子煙的煙油可以加入不同成分的調(diào)味劑進(jìn)行調(diào)味，用戶可以根據(jù)自己的喜好選擇煙油的口味。

MEMS（Micro-Electro-Mechanical System）一般指微機(jī)電系統(tǒng)，是在微米級(jí)尺寸上進(jìn)行精密微加工，制作形成各種類型的微傳感器及微執(zhí)行器。壓力傳感器是MEMS傳感器中最早出現(xiàn)及應(yīng)用的傳感器之一，從檢測(cè)原理上主要分為壓阻型及電容型，兩者是用硅材料通過(guò)圖形轉(zhuǎn)移及刻蝕方法，制作成微米級(jí)的壓力敏感膜片。

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電子煙咪頭

目前市場(chǎng)上電子煙產(chǎn)品，主要使用咪頭作為壓力開(kāi)關(guān)。咪頭成本低廉，但也存在一些使用中的痛點(diǎn)需要解決。

一致性：

多零件組裝，存在裝配公差，不能保證觸發(fā)壓力的一致性

防油性：

煙油或水汽進(jìn)入電容膜片間隙，造成性能降低，嚴(yán)重情況甚至失效

SMT兼容性：

需要手工焊接，而且對(duì)焊接工要求挺高，這是影響產(chǎn)能的一個(gè)原因

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基于單顆器件的解決方案

單顆差壓傳感器實(shí)現(xiàn)吸力檢測(cè)

器件膜片一側(cè)接觸氣流通道，另一側(cè)接觸大氣壓力，防水防油

多種輸出接口：中斷，頻率，I2C

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相對(duì)傳統(tǒng)咪頭的優(yōu)勢(shì)

低成本：?jiǎn)涡酒顗簷z測(cè)，整機(jī)設(shè)計(jì)更加緊湊

防油性：采用背面進(jìn)氣方式，防水防油

一致性：MEMS微米級(jí)加工工藝，器件差異性小，并且出廠前校準(zhǔn)測(cè)試，保證觸發(fā)壓力一致

敏芯股份認(rèn)為，MEMS壓力傳感器是電子煙中可實(shí)現(xiàn)抽吸開(kāi)關(guān)的最優(yōu)解決方案之一。為此通過(guò)反復(fù)改良優(yōu)化，擁有卓越可靠性與穩(wěn)定性的敏芯MEMS壓力傳感器，已獲得眾多客戶的認(rèn)可與信賴并持續(xù)供貨放量。此外，利用MEMS平臺(tái)型企業(yè)的技術(shù)疊加優(yōu)勢(shì)，敏芯股份率先開(kāi)發(fā)了包括流量計(jì)和流量開(kāi)關(guān)在內(nèi)的芯片，實(shí)現(xiàn)對(duì)電子煙高中低品牌市場(chǎng)的覆蓋。

審核編輯 ：李倩