CM300xi-ULN探針臺(tái)的獨(dú)特之處：

晶圓上噪聲測(cè)試的新黃金標(biāo)準(zhǔn)——CM300xi-ULN探針臺(tái)

PureLine 3技術(shù)消除97%的環(huán)境噪聲

利用TestCell電源管理消除接地回路引起的噪聲

在這篇文章中，我們將涵蓋實(shí)現(xiàn)高吞吐量閃爍噪聲測(cè)量。閃爍和RTN噪聲測(cè)試可能需要很長(zhǎng)時(shí)間，尤其是在測(cè)量頻率低至1 Hz或更低的情況下。單一溫度下的掃描時(shí)間通常長(zhǎng)達(dá)30分鐘。器件模型的標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)采集需要在多個(gè)溫度下在小襯墊上的DUT數(shù)據(jù)。

為了降低測(cè)試成本(CoT)，并顯著提高晶圓上測(cè)試吞吐量，可以使用四種不同的方法將自動(dòng)化添加到測(cè)試設(shè)置中：

自動(dòng)上料

用于小pad接地優(yōu)化的電動(dòng)探針座

自動(dòng)探針與pad對(duì)準(zhǔn)、變溫測(cè)量

多DUT自動(dòng)測(cè)量

針對(duì)方法1，可以使用標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)探針臺(tái)來提高數(shù)據(jù)收集吞吐量，但這些探針臺(tái)是專為高速生產(chǎn)測(cè)試而設(shè)計(jì)，而不是高精度閃爍噪聲測(cè)量。探針臺(tái)噪聲嚴(yán)重影響了最終數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性。

針對(duì)方法2、3和4，需要顯著的技術(shù)發(fā)展——光學(xué)、機(jī)械和軟件——來擺脫緩慢的手動(dòng)探針定位。

在所有情況下，重要的是要注意，自動(dòng)化方法不可通過向探測(cè)環(huán)境中添加或傳輸不需要的噪聲來損害TestCell的低噪聲性能。這是添加非優(yōu)化溫控、硬件和電子模塊的傳統(tǒng)方法的常見問題。

將我們的自動(dòng)DC測(cè)量助手添加到CM300xi-ULN測(cè)量系統(tǒng)中，為工程師和實(shí)驗(yàn)室人員設(shè)置閃爍噪聲測(cè)試創(chuàng)造了一個(gè)范例轉(zhuǎn)變。現(xiàn)在可為半自動(dòng)或全自動(dòng)CM300xi-ULN系統(tǒng)設(shè)置一個(gè)高吞吐量TestCell，提供完全自動(dòng)的24/7運(yùn)行。

自動(dòng)DC測(cè)量助手將電動(dòng)探針座與最先進(jìn)的圖像處理技術(shù)相結(jié)合，可隨時(shí)獲得高度可靠的測(cè)量數(shù)據(jù)。其支持小pad接地優(yōu)化、多種不同溫度下的自動(dòng)測(cè)試以及測(cè)試sub-die的自動(dòng)探針定位。所有功能均經(jīng)過優(yōu)化，以確保超低噪聲性能不受影響。

測(cè)量軟件可以輕松調(diào)用單DUT和多DUT探針布局，實(shí)現(xiàn)完全自動(dòng)化。自動(dòng)DC測(cè)量助手負(fù)責(zé)所有復(fù)雜的變溫管理，以及探針對(duì)準(zhǔn)pad(PTPA)的熱穩(wěn)定時(shí)間優(yōu)化。其結(jié)果是超低噪聲測(cè)量，在低至30um pad上實(shí)現(xiàn)小的接觸電阻，適用于任何閃爍噪聲建模和擴(kuò)展的溫度區(qū)間(-55至200℃)，涵蓋晶圓上的所有裸片和所有晶圓。

審核編輯：湯梓紅