據外媒報道,格芯(Globalfoundries Inc.)日前獲得3000萬美元的聯邦資金支持,用于在其位于佛蒙特州的晶圓廠開發和生產硅基氮化鎵(GaN-on-Si)晶圓,該工廠目前每月可生產超過5萬片晶圓。
報道顯示,該筆撥款是2022財年綜合撥款法案的一部分,來自于美國國防部可信訪問計劃辦公室 (TAPO) ,自2019年以來,TAPO一直積極支持軍民兩用硅基氮化鎵技術研發,新的款項將資助格芯采購設備并開始在8英寸產線實現硅基氮化鎵量產。
與傳統GaN-on-SiC等技術路線相比,硅基氮化鎵選用的襯底成本與可及性有顯著優勢,GaN外延生長缺陷也顯著降低。
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