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Ansys Lumerical衍射光柵對正入射寬帶平面波響應(yīng)的應(yīng)用實例

LD18688690737 ? 來源:Ansys ? 作者:Ansys ? 2022-11-03 17:42 ? 次閱讀

01、 說明

此示例描述了衍射光柵對正入射寬帶平面波的響應(yīng)。Lumerical提供了一組光柵腳本以及“光柵階數(shù)傳輸”分析組,可以輕松計算常見結(jié)果,例如不同波長的光柵階數(shù)、衍射角和光柵效率,光柵分析組還可用于獲得特定光柵階數(shù)的功率分?jǐn)?shù)。

8ec16b8a-5b5b-11ed-a3b6-dac502259ad0.png

02 、綜述

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本例中的衍射光柵是平面上半橢球的二維陣列。一個寬帶(0.85~1μm)平面波通常從襯底入射到表面光柵上,從而在透射和反射區(qū)域產(chǎn)生多個衍射級。“光柵階次傳輸”分析組使用各種與光柵相關(guān)的命令,并返回對光柵的一般表征有用的綜合結(jié)果列表:

光柵階數(shù)

每個光柵階數(shù)的光柵效率

每個光柵階的S或P偏振光的光柵效率

每個光柵階的方向余弦(遠(yuǎn)場半球中的theta和phi值)

上述結(jié)果作為波長函數(shù)返回,可直接用于您的光柵設(shè)計或進(jìn)一步處理以產(chǎn)生您感興趣的品質(zhì)因數(shù)。

03、 運行和結(jié)果

在FDTD中打開并運行仿真文件(diffraction_grating_FDTD.fsp.),然后打開并運行腳本文件(diffraction_grating_FDTD.lsf.)

光柵階數(shù)與波長

下圖顯示了光柵在不同波長支持的透射/反射階數(shù)。可以注意到:

光柵在更短波長支持更多的衍射級次。

反射比透射顯示更多的光柵階數(shù)。這是因為基板的折射率(1.45)大于空氣的折射率,這意味著基板中的有效波長較短。這與上述觀察一致。

透射和反射均顯示光柵階數(shù)在0.9μm處發(fā)生突變,低于0.9出現(xiàn)新的光柵階數(shù)。

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特定衍射級與波長的分?jǐn)?shù)功率

在許多情況下,可能需要計算有多少透射/反射功率轉(zhuǎn)換為特定衍射級:

8f1d9fe0-5b5b-11ed-a3b6-dac502259ad0.png

從下圖中可以看出:

傳輸?shù)?0,0)階的T(0,0)與0.9μm以上波長的總傳輸相同。這是因為光柵僅支持該波長范圍內(nèi)的單個傳輸階數(shù),如下圖所示。T_Total和T(0,0)之間的差異可歸因于透射到更高的衍射級,因為使用的材料沒有吸收。

對于反射,到(0,0)階的透射在整個波長范圍內(nèi)可以忽略不計,這意味著大部分反射功率被轉(zhuǎn)換為更高階。

在 0.9μm附近似乎有一些不連續(xù)性,這些與Wood’s anomaly 有關(guān),并且在光柵階數(shù)發(fā)生變化的波長處會很明顯。

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特定衍射級與波長的衍射角

光柵的衍射角也取決于工作波長,并且對于不同的階數(shù)表現(xiàn)出不同的值。唯一的例外是(0,0)階,它由入射光束的角度固定(在本例中為theta=0和 phi=0)。下圖根據(jù)波長顯示了透射(0,1)級的衍射角。這個特定的階數(shù)開始出現(xiàn)在 0.9μm并且傳播幾乎平行于基板。隨著波長變短,其傳播方向移向極軸(本例中為z軸)。

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特定波長的衍射效率和角度

了解特定波長的整個光柵階數(shù)的行為可以通過將每個支持的階數(shù)表示為遠(yuǎn)場半球中的一個點來可視化。下圖顯示了0.85μm的透射和反射階數(shù),結(jié)果與上述結(jié)果一致。

例如:

透射和反射分別有 3個和11個衍射級。

透射(0,1)級的衍射角約為70度。

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審核編輯:郭婷

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原文標(biāo)題:Ansys Lumerical 衍射光柵仿真實例

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