芯片有著很強(qiáng)動(dòng)力和潛力，隨著國(guó)內(nèi)的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，對(duì)芯片需求不斷增多，LED/半導(dǎo)體/線路板芯片制備到器件封裝，對(duì)生產(chǎn)環(huán)境空氣品質(zhì)都有較高的要求，空氣品質(zhì)關(guān)系著成品率和產(chǎn)品品質(zhì)。很多「半導(dǎo)體工業(yè)」以及「生技產(chǎn)業(yè)」都需要用到無潔凈室。今天 【科準(zhǔn)測(cè)控】 小編就來詳細(xì)介紹一下半導(dǎo)體集成電路潔凈室/無塵室的原理還有標(biāo)準(zhǔn)是什么？以及日常維護(hù)事項(xiàng)，一起往下看吧！

半導(dǎo)體潔凈室原理：

『潔凈室』又稱為「無塵室」，是將一定空間范圍內(nèi)之空氣的微塵粒子、有害氣體、細(xì)菌等污染物排除于外，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在一定需求范圍內(nèi)，而給予特別設(shè)計(jì)之房間。也就是說這個(gè)受控的房間內(nèi)之微塵粒子相當(dāng)稀少。

半導(dǎo)體潔凈室的應(yīng)用：

潔凈室在現(xiàn)代工業(yè)中早已被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)、液晶螢?zāi)簧a(chǎn)、生化技術(shù)、生物技術(shù)、精密器械、制藥、醫(yī)院等行業(yè)之中，尤其以半導(dǎo)體晶圓制程對(duì)無塵等級(jí)的要求最高，因?yàn)楝F(xiàn)今的晶圓已經(jīng)都發(fā)展到奈米級(jí)的水準(zhǔn)，隨便一粒灰塵掉落在晶圓上都可能造成整個(gè)晶圓線路的毀損，甚至導(dǎo)致這個(gè)晶圓必須報(bào)廢。

無塵室除了管控空氣中的微塵粒子之外，還分成正壓無塵室與負(fù)壓無塵室。一般正壓無塵室比較常見，就是讓室內(nèi)的空氣壓力大于室外的壓力，這樣才可以控制室內(nèi)空氣往外吹以杜絕外部的污染源。

而負(fù)壓無塵室一般應(yīng)用在有毒實(shí)驗(yàn)室、病理實(shí)驗(yàn)室或傳染病病房，目的是為了避免實(shí)驗(yàn)室或病房中有任何有毒氣體或傳染病菌不小心傳播到大氣環(huán)境中，所以負(fù)壓就是為了讓室外的空氣會(huì)往室內(nèi)吹，然后藉由過濾網(wǎng)將可能受污染的空氣過濾，以免讓不相干的大眾受到感染。

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空氣潔凈度參考：

根據(jù)國(guó)標(biāo)GB50073—2013，潔凈室的空氣潔凈度等級(jí)為1~9級(jí)。在具體實(shí)踐中，常參考美國(guó)標(biāo)準(zhǔn)FS 209E，其中的空氣潔凈度等級(jí)有1級(jí)、10級(jí)、100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)、10000級(jí)等，如表1-1所示。

潔凈****室應(yīng)該具備哪些要素？

基本上「無塵室」應(yīng)該要具備以下的功能：

1、能去除空氣中漂浮之微塵粒子。

2、能防止微塵粒子之產(chǎn)生。

3、能控制溫度及濕度。這是因?yàn)槊荛]的環(huán)境需要溫度及濕度控制以符合人體舒適度，另一方面溫度及濕度也可以控制微生物的生長(zhǎng)。其次，濕度過大也會(huì)影響到電子產(chǎn)品的品質(zhì)。

4、能調(diào)節(jié)壓力。這是為了要控制無塵室內(nèi)為正壓或負(fù)壓。

5、能調(diào)節(jié)溫度。

6、能防止靜電。這是一定要的，電子產(chǎn)品怕靜電了，尤其是還未封裝的晶圓。

注：另外還必須考慮到安全因素（包含火災(zāi)滅火與緊急狀況逃生）

濕度可能使?jié)崈羰铱傮w表現(xiàn)下降的 原因有 ：

1.細(xì)菌生長(zhǎng)；

2.工作人員感到室溫舒適的范圍；

3.出現(xiàn)靜電荷；

4.金屬腐蝕；

5.水汽冷凝；

6.光刻的退化；

7.吸水性。

細(xì)菌和其他生物污染（霉菌，病毒，真菌，螨蟲）在相對(duì)濕度超過60%的環(huán)境中可以活躍地繁殖。一些菌群在相對(duì)濕度超過30%時(shí)就可以增長(zhǎng)。合景凈化工程公司認(rèn)為，應(yīng)將濕度控制在處于40%至60%的范圍之間時(shí)，可以使細(xì)菌的影響以及呼吸道感染降至最低。

相對(duì)濕度在40%至60%的范圍同樣也是人類感覺舒適的適度范圍。濕度過高會(huì)使人覺得氣悶，而濕度低于30%則會(huì)讓人感覺干燥，皮膚皸裂，呼吸道不適以及情感上的不快。

高濕度實(shí)際上減小了潔凈室表面的靜電荷積累──這是人們希望的結(jié)果。較低的濕度比較適合電荷的積累并成為潛在的具有破壞性的靜電釋放源。當(dāng)相對(duì)濕度超過50%時(shí)，靜電荷開始迅速消散，但是當(dāng)相對(duì)濕度小于30%時(shí)，它們可以在絕緣體或者未接地的表面上持續(xù)存在很長(zhǎng)一段時(shí)間。

相對(duì)濕度在35%到40%之間可以作為一個(gè)令人滿意的折中，半導(dǎo)體潔凈室一般都使用額外的控制裝置以限制靜電荷的積累。

以上就是 【科準(zhǔn)測(cè)控】 技術(shù)團(tuán)隊(duì)為大家整理的關(guān)于半導(dǎo)體集成電路潔凈室的原理、空氣潔凈度等級(jí)還有潔凈室的維護(hù)了，希望對(duì)大家能有所幫助。如果您也有遇到半導(dǎo)體集成電路不明白的問題，歡迎給我們私信或留言，科準(zhǔn)測(cè)控也會(huì)為您解答疑問！

審核編輯 黃昊宇