keithley吉時利6514可編程靜電計
具有靈活的接口性能，其電流靈敏度、電荷測量能力、分辨率和速度都優于我們之前的靜電計。內置式
IEEE-488、RS-232與數字式I/O接口使它可以很容易地配置為全自動、高速系統，用于低電平測試。
特點
<1fA 噪聲
電壓測量時，輸入阻抗>200TΩ
電荷測量范圍：10fC-20μC
速度可達1200個讀數/秒
簡易的用戶界面提供開關，計算機以及元件處理器
主動消除電壓與電流的偏移
主要技術指標
電流測量 <1fA(包含噪聲)～20mA
電壓測量 10μV(數字分辨率極限，可能含有噪聲)～200V
電阻測量 10Ω～200GΩ 100Ω～10PΩ
電阻精度優于1%，電阻精度優于10%
（使用236、237、238測量，通過加電壓測電流或加電流測電壓實現，不直接顯示阻值）
電荷測量 10fC(數字分辨率極限，可能含有噪聲)～20μC 10fC(數字分辨率極限，可能含有噪聲)～2μC
特性插頭 3 Slot Triax 3 Slot Triax
IEEE-488 有 有
RS-232 有 有
Guard 有 有
CE 有 有
其它 5 1/2精度，替代6512、617-HIQ 5 1/2精度，內置±1kV電壓源。濕度、
溫度測量。采用交替電壓極性法測高阻
可配置多通道的掃描卡
附件 237-ALG-2低噪聲三同軸電纜， 237-ALG-2低噪聲三同軸電纜，
夾型2m長3插槽三同軸線 夾型2m長3插槽三同軸線，
8607安全型高壓雙路測試線，
6517-TP熱電偶探針，
CS-1305互鎖連接頭
審核編輯黃宇
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