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晶圓切割機(jī),硅片切割在操作中會(huì)出現(xiàn)哪些問(wèn)題?

博捷芯半導(dǎo)體 ? 2022-01-03 13:49 ? 次閱讀

硅片切割要求很高,而且切割機(jī)的技術(shù)水平非常優(yōu)秀,才能制作出完美的作品。硅片切割本身并不是一件容易的事情,其中會(huì)有問(wèn)題。我們?cè)诓僮髦幸⒁狻?/p>pYYBAGHSjoGAORIcAAtBB3TyJwc305.jpg

1、雜質(zhì)線痕:由多晶硅錠內(nèi)雜質(zhì)引起,在切片過(guò)程中無(wú)法完全去除,導(dǎo)致硅片上產(chǎn)生相關(guān)線痕。

2、劃傷線痕:由砂漿中的SIC大顆粒或砂漿結(jié)塊引起。切割過(guò)程中,SIC顆?!翱ā痹阡摼€與硅片之間,無(wú)法溢出,造成線痕。

表現(xiàn)形式:包括整條線痕和半截線痕,內(nèi)凹,線痕發(fā)亮,較其它線痕更加窄細(xì)。

3、密布線痕(密集型線痕):由于砂漿的磨削能力不夠或者切片機(jī)砂漿回路系統(tǒng)問(wèn)題,造成硅片上出現(xiàn)密集線痕區(qū)域。

4、錯(cuò)位線痕:由于切片機(jī)液壓夾緊裝置表面有砂漿等異物或者托板上有殘余膠水,造成液壓裝置與托板不能完全夾緊,以及托板螺絲松動(dòng),而產(chǎn)生的線痕。

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在整個(gè)切割過(guò)程中,對(duì)硅片的質(zhì)量以及成品率起主要作用的是切割液的粘度、碳化硅微粉的粒型及粒度、砂漿的粘度、砂漿的流量、鋼線的速度、鋼線的張力以及工件的進(jìn)給速度等。

線痕和TTV:線痕和TTV是在硅片加工當(dāng)中遇到的比較頭疼的事,時(shí)不時(shí)就會(huì)出現(xiàn)一刀,防不勝防。TTV是在入刀的時(shí)候出現(xiàn),而線痕是在收線弓的時(shí)候容易出現(xiàn)。


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