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10.8.5 光刻-電鍍-注塑技術(LIGA)∈《集成電路產業全書》

深圳市致知行科技有限公司 ? 2022-05-24 17:05 ? 次閱讀
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Lithographie-Galvanoformung-Abformung(LIGA)

審稿人:北京大學 王瑋

審稿人:北京大學 張興 蔡一茂

https://www.pku.edu.cn

10.8 集成微系統技術

第10章 集成電路基礎研究與前沿技術發展

《集成電路產業全書》下冊

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