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「陸芯晶圓切割機」精密劃片機操作以及注意事項

博捷芯半導體 ? 2022-04-06 14:20 ? 次閱讀

精密劃片機操作以及注意事項

1.提前貼好綠膜或者其他藍膜并把產品擺正放置固定位置

2.放置工作臺并擺正

3.進入自動識別抓取兩點并進行自動識別

4.識別完畢進行切割

注意事項

1.測高時工作臺上不能有任何物品

2.切割前檢查參數是否選擇正確

3.更換刀片需檢查是否流暢轉動

4.工作人員不在現場時需關閉主軸并鎖屏

5.工作結束關閉水 氣 電進行關閉并檢查機械是否正常

6.人員不允許在切割時或主軸轉動時身體進入機械內

7.法蘭與拆刀法蘭 刀片 工作盤需輕拿輕放,如有污穢需酒精無塵布擦拭

8.工作員進行切割工作時必須由進行切割的工作人員完成切割

9.切割前檢查氣壓表 流量計是否正常

10.更換刀片時主軸刀片停止轉動時才可打開氣鎖

11.對焦時注意Z軸不要撞上T軸

12.工作盤下的定位圈檢查是否擺正

13.base不能有異物

pYYBAGIwKQmAIm0SAABshpHCvbw418.jpg

問題處理

1.如測高減小值超過限制需聯系廠家進行修改參數

2.如切割過程氣 水斷導致切割強制停止需先急停后初始化

3.傳感器信號不良需就無塵布擦拭兩邊玻璃(保持感應值在90)

4.工件真空如有異響需重新貼膜

5.各軸如感覺移動過慢可在運動控制中修改移動參數

6.如切割陶瓷版不正常可以使用綠膜參數切割綠膜查看是否有異常

7.軟件卡死重啟軟件即可

8.觸摸屏幕點不對可在電腦中重新制定觸摸點

9.如測高與切割時有問題及時按軟急停開關z軸會抬高

10.測高時如位置不對需聯系廠家進行修改測高參數

pYYBAGJNDySAM3swAAPR7aqUejs078.png

聲明:操機員自身操作失誤導致機械故障需及時聯系廠家

坐標參數按照膜具標準坐標不用修改

如切割過程中水氣壓不足導致刀片強制停止轉動需進行初始化并急停(水壓報警是水的壓力不足可在水泵中進行調整水壓)

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