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白光干涉儀是什么?

中圖儀器 ? 2021-11-01 10:27 ? 次閱讀

白光干涉儀SuperView W1系列采用增加相位掃描干涉技術,是專為準確測量表面輪廓、粗糙度、臺階高度和其他表面參數而設計的微納米測量系統。

pYYBAGF6W9iAF_Q9AAEjxFY4pZA357.png中圖儀器SuperView W1白光干涉儀


產品特點
1、非接觸式測量:避免物件受損。

2、三維表面測量:表面高度測量范圍為1nm-10mm。

3、多重視野鏡片:方便物鏡的快速切換。

4、納米級分辨率:垂直分辨率可以達到0.1nm。

5、高速數字信號處理器:實現測量僅需要幾秒鐘。

6、掃描儀:采用閉環控制系統

7、工作臺:氣動裝置、抗震、抗壓。

8、測量軟件:基于windows操作系統的用戶界面,強大而快速的運算。

應用領域
1、TFT產業

2、半導體

3、MEMS

4、高校科研

5、精密加工

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