三坐標測量儀是指在一個六面體的空間范圍內，能夠表現幾何形狀、長度及圓周分度等測量能力的儀器，它是通過XYZ三個軸測量各種零部件及總成的各個點和元素的空間坐標，來評價長度、直徑、形狀誤差、位置誤差的一種測量設備。配備了高精度的導軌、測頭和控制系統，并使用計算機程序來自動控制檢測流程，計算輸出測量結果。

三坐標測量儀對被測體沒什么特殊要求，只是需要根據被測物體選擇不同的測頭及測針。測量功能應包括尺寸精度、定位精度、幾何精度及輪廓精度等。

Mars系列移動橋式三坐標測量機支持觸發、掃描和非接觸式探測系統。能夠對各種零件和部件的尺寸、形狀及相互位置關系進行檢測，也可以對軟材質或復雜零件進行光學掃描測量。并且支持測頭更換架以及影像相機，同時支持精密轉臺等。是測量和獲得尺寸數據的有效方法之一，因為它可以代替多種表面測量工具及昂貴的組合量規，并把復雜的測量任務所需時間從小時減到分鐘，這是其它儀器而達不到的效果。