白光干涉儀是以白光干涉技術為原理，能夠以優于納米級的分辨率，非接觸測量樣品表面形貌的光學測量儀器，用于表面形貌紋理，微觀結構分析，用于測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數，廣泛應用于光學，半導體，材料，精密機械等領域。

白光干涉儀掃描原理

在利用白光干涉測量表面三維形貌的過程中，對于被測表面上某一點來說，為了定位其零光程差位置，必須采用某種掃描方式改變參考鏡或者被測表面的位置，以此來獲得該點光強變化的離散數據，然后依據白光干涉的典型特征來判別并提取最佳干涉位置。因此稱這種方法為掃描白光干涉測量法。

測量原理

白光干涉儀測量方法

1.點擊XY復位，使得鏡頭復位到載物臺中心
2.將被測物放置在載物臺夾具上，被測物中心大致和載物臺中心重合；
3.確認電機連接狀態和環境噪聲狀態滿足測量條件；
4.使用操縱桿搖桿旋鈕調節鏡頭高度，找到干涉條紋；
5.設置好掃描方式和掃描范圍；
6.點擊選項圖標，確認自動找條紋上下限無誤；
7.點擊多區域測量圖標，可選擇方形和（橢）圓形兩種測量區域形狀；
8.根據被測物形狀和尺寸，"形狀”欄選擇“橢圓平面”，X和Y方向按需設置；
9.點擊彈出框右下角的“開始”圖標，儀器即自動完成多個區域的對焦、找條紋、掃面等操作。