7月19日下午，廣東省工業(yè)和信息化廳召開2023年上半年新聞發(fā)布會，會上通報了上半年全省工業(yè)經(jīng)濟運行情況，其中重點提及：

“集成電路產(chǎn)量逆勢增長，隨著多個集成電路重大制造項目的建成達產(chǎn)，全省集成電路產(chǎn)量同比增長80%，增速高于全國（0.1%）79.9個百分點，占全國產(chǎn)量28.1%。”

作為中國經(jīng)濟總量最大的省份，近年來廣東省竭力發(fā)展半導體產(chǎn)業(yè)，推出一系列政策，并不惜壕擲千億補課，近期再發(fā)重磅文件，重申“全面建設(shè)中國集成電路第三極”。

傳感器作為半導體產(chǎn)業(yè)重要的器件，在廣東省半導體產(chǎn)業(yè)政策中獲得優(yōu)先扶持，在全省集成電路產(chǎn)量增長80%的背后，更有包括中國首條12英寸MEMS晶圓產(chǎn)線在內(nèi)的4條12英寸線正在動工建設(shè)，近期這些產(chǎn)線相繼發(fā)布最新信息。

中國經(jīng)濟第一省半導體產(chǎn)業(yè)正在狂飆！

狂增80%背后，傳感器等多條12英寸產(chǎn)線建設(shè)被寫入工作報告！

近日，廣東省工業(yè)和信息化廳官網(wǎng)發(fā)布《省工業(yè)和信息化廳召開2023年二季度新聞發(fā)布會》新聞稿，其中指出廣東省2023上半年集成電路產(chǎn)量同比增長80%，增速高于全國（0.1%）79.9個百分點，占全國產(chǎn)量28.1%。

該數(shù)據(jù)顯示了，在廣東省強勁的政策支持和投資下，當前廣東省半導體及集成電路產(chǎn)業(yè)正爆發(fā)出前所未有的增長態(tài)勢。在廣東省半導體及集成電路產(chǎn)業(yè)逆勢狂增的背后，是粵芯等多條12英寸產(chǎn)線投入建設(shè)、量產(chǎn)，彌補廣東省半導體產(chǎn)業(yè)的短板。

今年1月份，廣東省第十四屆人民代表大會第一次會議上，政府工作報告中，傳感器等半導體重大項目更是被寫入報告里：

政府工作報告回顧了2022年的工作，其中：粵芯三期、華潤微電子、增芯科技傳感器等集成電路重大制造項目獲批建設(shè)，“廣東強芯”工程深入推進，打造中國集成電路第三極邁出堅實步伐。新增國家級制造業(yè)單項冠軍企業(yè)47家、國家專精特新“小巨人”企業(yè)447家，推動1萬家企業(yè)“小升規(guī)”、超過9000家工業(yè)企業(yè)開展技改，工業(yè)投資增長12%。 政府工作報告還明確了2023年工作安排，其中：……提升產(chǎn)業(yè)鏈供應鏈韌性和安全水平。以“鏈長+鏈主制”為抓手，制定保障產(chǎn)業(yè)鏈供應鏈安全穩(wěn)定“1+N”政策措施。積極承接國家產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)再造工程，推動基礎(chǔ)零部件和元器件、基礎(chǔ)材料、工業(yè)基礎(chǔ)軟件、基礎(chǔ)制造工藝及裝備、產(chǎn)業(yè)技術(shù)基礎(chǔ)能力提升。加快補齊集成電路、工業(yè)母機等產(chǎn)業(yè)鏈關(guān)鍵環(huán)節(jié)，實施龍頭企業(yè)保鏈穩(wěn)鏈工程、汽車零部件產(chǎn)業(yè)強鏈工程，加快粵芯三期、增芯科技傳感器、華潤微電子、江門中創(chuàng)新航等項目建設(shè)。

▲來源：廣東省工業(yè)和信息化廳官網(wǎng)

粵芯三期、增芯科技傳感器、華潤微電子等多條12英寸量產(chǎn)線加快建設(shè)！廣東省芯片產(chǎn)能全面提速！

長期以來，廣東省半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展滯后，遠不如上海市、江蘇省等兄弟省市，不論是產(chǎn)業(yè)規(guī)模還是產(chǎn)業(yè)鏈完整程度上，粵港澳大灣區(qū)都遠落后于長三角地區(qū)，并且大灣區(qū)半導體及集成電路產(chǎn)業(yè)布局極其不平衡，有大量的芯片設(shè)計企業(yè)，但芯片制造和設(shè)備、材料方面等存在明顯短板。

以半導體的傳感器產(chǎn)業(yè)為例，此前粵港澳大灣區(qū)傳感器芯片產(chǎn)線缺乏，只有奧松電子等幾條MEMS傳感器芯片產(chǎn)線，許多企業(yè)流片、生產(chǎn)需要到長三角甚至國外尋找代工公司合作。

隨著廣東省發(fā)力半導體產(chǎn)業(yè)，粵芯半導體打響了大灣區(qū)追趕的第一槍，成為廣東省及粵港澳大灣區(qū)目前唯一進入量產(chǎn)的12英寸芯片生產(chǎn)線。

此外，多條12英寸晶圓產(chǎn)線正在廣東省加快建設(shè)，譬如2023年政府工作報告中提及的粵芯三期、增芯科技傳感器、華潤微電子等重大項目，均屬于12英寸產(chǎn)線，廣東省半導體產(chǎn)業(yè)失衡的局面有望在未來幾年被打破。

12英寸晶圓是目前全球主流晶圓的最大尺寸，較8英寸晶圓相比，其面積上提升約2.23倍，就單硅片產(chǎn)出來看，8英寸晶圓產(chǎn)出芯片88塊，而12英寸晶圓產(chǎn)出芯片則達到232塊。

粵芯半導體三期動工建設(shè)，應用于圖像傳感器、微控制器芯片等多種產(chǎn)品

粵芯半導體成立于2017年，先后于2019年及2021年相繼實現(xiàn)一期、二期項目正式量產(chǎn)，從消費級芯片起步，進而延伸發(fā)展至工業(yè)級和車規(guī)級芯片，是目前粵港澳大灣區(qū)首個并且是唯一進入量產(chǎn)的12 英寸芯片晶圓制造廠。

據(jù)悉，粵芯半導體項目計劃分為四期進行，計劃總投資約370億元，目前第一期、第二期已經(jīng)投產(chǎn)，月產(chǎn)能達到4萬片，第三期、第四期項目計劃月產(chǎn)能各4萬片，預計在2025年，公司月產(chǎn)能有望達到12萬片。此外，一期主要技術(shù)節(jié)點為180-90nm制程，二期技術(shù)節(jié)點延伸至90-55nm制程，三期技術(shù)節(jié)點進一步延伸至55-40nm，22nm制程。

2022年6月，粵芯半導體完成了45億元融資，8月，粵芯半導體三期項目正式啟動建設(shè)，總投資162.5億元，將新建產(chǎn)能4萬片/月的12英寸集成電路模擬特色工藝生產(chǎn)線，力爭在2024年建成投產(chǎn)。

按照規(guī)劃，三期項目規(guī)劃打造工業(yè)級和車規(guī)級模擬特色工藝平臺，主要應用于電力電子、服務器/5G基站及汽車電子的功率器件芯片、信號鏈芯片、電源管理芯片、微控制器芯片及圖像傳感器等多種產(chǎn)品。

▲來源：《廣州市2023年重點建設(shè)項目計劃》

增芯科技提速，中國首條在建的12英寸MEMS晶圓產(chǎn)線！鎖定全球最大MEMS產(chǎn)線寶座？

增芯科技傳感器項目被寫入2023年廣東省政府工作報告中，這是中國首條在建的12英寸MEMS晶圓量產(chǎn)線。

2022年12月，增芯科技一期第一階段項目動工建設(shè)，批復投資70億元人民幣，將建設(shè)月加工2萬片12英寸的晶圓制造量產(chǎn)線。項目于2022年12月開工，計劃2024上半年通線，2025年年底滿產(chǎn)。

此前，據(jù)《廣州市2022年重點建設(shè)項目計劃》顯示，廣州增芯項目總投資將達到370億元！打造集研發(fā)、量產(chǎn)制造、封測與應用為一體的MEMS制造平臺。一期第一階段達產(chǎn)后產(chǎn)能2萬片/月；一期第二階段達產(chǎn)后產(chǎn)能擴至6萬片/月。

▲來源：《廣州市2022年重點建設(shè)項目計劃》

據(jù)廣州增芯科技有限公司官方平臺介紹，其致力于建設(shè)國內(nèi)第一家專業(yè)定制化 12英寸智能傳感器芯片制造企業(yè)，產(chǎn)品主要以力學、聲學、微流控、生物等傳感器件及配套 ASIC 芯片為主，著力面向粵港澳大灣區(qū)這一全球傳感器最大的應用市場，快速構(gòu)建傳感器產(chǎn)業(yè)生態(tài)圈，助力大灣區(qū)成為全球傳感器產(chǎn)業(yè)中心的核心支撐和引領(lǐng)平臺。

目前增芯科技已與10家MEMS設(shè)計骨干企業(yè)簽訂合作協(xié)議，共同定制工藝設(shè)備、開發(fā)特色工藝技術(shù)，包括但不限于加速度傳感器、慣性傳感器、磁傳感器、基因測試芯片、微流控芯片、硅基麥克風芯片等。

此外，增芯科技12英寸MEMS晶圓產(chǎn)線一期月產(chǎn)2萬片年產(chǎn)24萬片，后期年產(chǎn)36萬片的產(chǎn)能規(guī)劃，如果投產(chǎn)順利，將極大可能鎖定中國乃至全球最大的MEMS晶圓代工廠的位置。

當前全球最大的MEMS晶圓代工廠——賽微電子旗下瑞典Silex產(chǎn)線（FAB1&FAB2），年產(chǎn)能約84000片，賽微電子北京產(chǎn)線（FAB3）目前規(guī)劃產(chǎn)能30000片/年，中芯集成（紹興）的MEMS晶圓代工年銷量約85000片左右。

▲賽微電子MEMS產(chǎn)能數(shù)據(jù)（來自賽微電子2021年報）

據(jù)2023年07月21日，廣州市規(guī)劃和自然資源局的《12英寸先進MEMS傳感器及特色工藝晶圓制造量產(chǎn)線新建項目》公示資料顯示，該產(chǎn)線具體位置處于廣州城之東，從地圖上粗略查看，距離廣州市區(qū)37公里，距離東莞市區(qū)21公里，距離深圳市區(qū)83公里，而距離深圳市打造的智能傳感器高地——光明區(qū)僅57公里，只相當于從深圳寶安區(qū)到坪山區(qū)的距離。

增芯科技傳感器項目對粵港澳大灣區(qū)及中國傳感器產(chǎn)業(yè)有重要意義。

▲增芯科技傳感器項目位置，來源：廣州市規(guī)劃和自然資源局

華潤微電子12英寸晶圓廠投入建設(shè)，聚焦40nm以上模擬特色工藝

華潤微電子深圳12英寸集成電路生產(chǎn)線建設(shè)項目于2022年10月開工，建設(shè)主體為潤鵬半導體（深圳）有限公司，選址深圳市寶安區(qū)。

據(jù)當時公開消息顯示，該項目一期總投資220億元，聚焦40納米以上模擬特色工藝。項目建成后將形成年產(chǎn)48萬片12英寸功率芯片的生產(chǎn)能力，產(chǎn)品主要應用于汽車電子、新能源、工業(yè)控制、消費電子等領(lǐng)域。該項目的建成將發(fā)揮華潤微全產(chǎn)業(yè)鏈商業(yè)模式優(yōu)勢，貼近和帶動產(chǎn)業(yè)上下游的配合和銜接，形成集聚效應，助力粵港澳大灣區(qū)制造業(yè)的發(fā)展。

華潤微2月8日公告，公司召開了第二屆董事會第六次會議審議并通過了《關(guān)于變更部分募投項目并將部分募集資金投入新項目的議案》，同意公司將向特定對象發(fā)行A股股票募集資金投資項目“華潤微功率半導體封測基地項目”的募集資金人民幣23億元變更使用用途，變更后的募集資金將用于“華潤微電子深圳300mm集成電路生產(chǎn)線項目”。

華潤微電子深圳12英寸晶圓廠建設(shè)提速，該項目預計2024年年底實現(xiàn)通線投產(chǎn)。

中芯國際12英寸晶圓廠，聚焦28納米以上工藝，應用于圖像傳感器、顯示驅(qū)動等產(chǎn)品

據(jù)廣東省發(fā)展改革委公布的《廣東省2022年重點建設(shè)項目計劃表》，中芯國際將在深圳建設(shè)一條月產(chǎn)能為4萬片/月的12英寸集成電路生產(chǎn)線，總投資153億元，聚焦28納米及以上工藝節(jié)點的生產(chǎn)，產(chǎn)線建設(shè)起止年限為2021-2025。其中，2022年計劃投資30億人民幣，投資建設(shè)內(nèi)容包括土建和設(shè)備安裝。

另外根據(jù)深圳市坪山區(qū)投資推廣服務署去年發(fā)布的公告，中芯國際12英寸晶圓代工生產(chǎn)線主要規(guī)劃進行55nm高壓大屏驅(qū)動，0.15μm電源驅(qū)動以及40/28nm高壓大屏驅(qū)動芯片的量產(chǎn)生產(chǎn)，以顯示驅(qū)動、圖像傳感以及電源管理產(chǎn)品為切入口，預留其他類型產(chǎn)品兼容性。

據(jù)中芯國際在2022年第四季度業(yè)績財報中披露，至2022年底，中芯深圳已進入投產(chǎn)階段。在前不久的政府工作報告中提到，2023年將推動中芯國際12英寸生產(chǎn)線達產(chǎn)滿產(chǎn)。

多項重磅政策落地，豪擲千億補課！廣東力爭中國半導體第三極！傳感器產(chǎn)業(yè)獲得優(yōu)先扶持！

在剛剛過去的6月份，廣東省又出臺重磅文件，6月1日發(fā)布《關(guān)于高質(zhì)量建設(shè)制造強省的意見》，文件中提到，推動半導體及集成電路等產(chǎn)業(yè)發(fā)展，培育形成10個以上產(chǎn)值超萬億元的戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)集群，超過10家制造業(yè)企業(yè)進入世界500強。并且，再次重申“全面建設(shè)中國集成電路第三極”，推進“廣東強芯”工程建設(shè)：

突破重點產(chǎn)業(yè)鏈的一批關(guān)鍵核心技術(shù)、前沿技術(shù)和顛覆性技術(shù)。持續(xù)推進“廣東強芯”工程，抓緊組建省半導體及集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金二期，全面建設(shè)中國集成電路第三極。建立健全能源和原材料保供穩(wěn)價長效機制，提升戰(zhàn)略性能源資源供應保障能力。

長期以來，廣東省半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展滯后，遠不如上海市、江蘇省等兄弟省市。

據(jù)悉是由于錯位發(fā)展的需要，廣東大力發(fā)展光電顯示產(chǎn)業(yè)，而上海在上世紀80年代就布局芯片產(chǎn)業(yè)，2000年中芯國際在上海成立，還有華虹半導體這種大晶圓制造廠，重點引入臺積電的人才，經(jīng)過20多年的發(fā)展，上海形成了國內(nèi)整條完整的芯片產(chǎn)業(yè)供應鏈，上海的半導體發(fā)展有著歷史底蘊。

為了補半導體的課，2022年廣東省豪擲千億，以廣州、深圳兩大一線城市為雙核，推出一系列政策。

2022年4月，廣東省工信廳印發(fā)《2022年廣東省數(shù)字經(jīng)濟工作要點》，要全面實施“廣東強芯”工程，加快灣區(qū)半導體、廣大融智、智能傳感器三大產(chǎn)業(yè)集團建設(shè)。

一、成立廣東省半導體及集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金（總規(guī)模500億，首期200億）：設(shè)立子基金、生態(tài)子基金和風險子基金；二、粵芯CanSemi12英寸模擬特色工藝線三期四期投資400億元；三、粵港澳大灣區(qū)科技創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)投資基金，總規(guī)模1000億，首期200億元；四、灣區(qū)半導體產(chǎn)業(yè)集團，首期160億元，目標300億元；五、廣大融智產(chǎn)業(yè)集團，一期100億元；六、智能傳感器產(chǎn)業(yè)集團，100億。

同年，深圳出臺《關(guān)于發(fā)展壯大戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)集群和培育發(fā)展未來產(chǎn)業(yè)的意見》，培育發(fā)展壯大“20+8”產(chǎn)業(yè)集群，即發(fā)展以先進制造業(yè)為主體的20個戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)集群，前瞻布局8大未來產(chǎn)業(yè)。包括智能傳感器、智能傳感器、精密儀器、新能源、高端醫(yī)療器械等產(chǎn)業(yè)集群。

為壯大相關(guān)產(chǎn)業(yè)，深圳以“一個產(chǎn)業(yè)集群至少有一只基金配套支持”的理念，成立相關(guān)基金，基金群總規(guī)模達千億級。

其中，智能傳感器、合成生物、新能源汽車、生物醫(yī)藥產(chǎn)業(yè)共四個重點方向為首批先行產(chǎn)業(yè)，基金已在2022年12月落地，規(guī)模達165億元，而智能傳感器產(chǎn)業(yè)基金為50億。

2022年3月，深圳市工業(yè)和信息化局發(fā)布關(guān)于公開征求《深圳市關(guān)于推動智能傳感器產(chǎn)業(yè)加快發(fā)展的若干措施》（征求意見稿）意見的通告，相關(guān)政策于同年12月出臺。

深圳將從健全產(chǎn)業(yè)公共服務能力、構(gòu)建核心技術(shù)競爭力和強化市場牽引發(fā)展能力三方面，加快發(fā)展智能傳感器產(chǎn)業(yè)集群，促進產(chǎn)業(yè)邁向全球價值鏈高端。政策顯示，對企業(yè)能夠解決智能傳感器產(chǎn)業(yè)“卡脖子”問題的，資金資助最高達到了1億元！（相關(guān)政策內(nèi)容參看《最高資助1億！深圳要解決智能傳感器產(chǎn)業(yè)“卡脖子”問題（附政策全文）》）

深圳對智能傳感器產(chǎn)業(yè)空間布局，重點提及了南山、龍華和光明這三區(qū)。具體來看，深圳對于南山區(qū)的定位重點放在了“產(chǎn)學研”；龍華的定位是“3C應用示范”；而光明任務最重，肩負8英寸MEMS中試線，項目總投資額15.33億元，建成后產(chǎn)能可達3000片。該中試線建成后將面向市內(nèi)外有關(guān)企業(yè)提供研發(fā)中試和批量代工服務。

2023年1月，深圳市光明區(qū)智能傳感與精密儀器先進制造業(yè)園區(qū)開工建設(shè)，項目位于光明區(qū)西南直角產(chǎn)業(yè)帶，綜合開發(fā)范圍1.95平方公里，規(guī)劃容積382.51萬平方米，分四期開發(fā)，項目總投資達81.9億元。

這是繼粵港澳大灣區(qū)智能傳感器產(chǎn)業(yè)園后，廣東省第二個成規(guī)模的傳感器產(chǎn)業(yè)園區(qū)，也使光明區(qū)成為深圳市的智能傳感器產(chǎn)業(yè)高地。

結(jié)語

因國家發(fā)展統(tǒng)籌等原因，長期以來，廣東半導體產(chǎn)業(yè)遠遠落后于長三角的上海、江蘇等兄弟省市。

近年來，隨著廣東半導體產(chǎn)業(yè)受到重視，吹響了打造中國半導體第三極的號角，2023年上半年廣東省集成電路同比增長80%，當前廣東半導體在建擬建項目總投資超5000億元，已邁出了堅實的步伐。

智能傳感器作為半導體產(chǎn)業(yè)的重要組成部分，自2020年以來，廣東密集推出扶持智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展的各項政策措施，其力度之大、政策范圍之廣，遠超其他兄弟省份城市。

未來，以智能傳感器、模擬芯片等為突破口帶動半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展，廣東省有望真正成為中國半導體第三極！

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審核編輯 黃宇