此前，國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局公布了一項(xiàng)華為新的專利。反射鏡、光刻設(shè)備及其控制方法在極紫外光刻及核心技術(shù)上取得突破性進(jìn)展。

4月，哈工大宣布實(shí)現(xiàn)了“電能轉(zhuǎn)化等離子體線路”,實(shí)現(xiàn)了DPP-EUV光源。

7月23日起，日本針對(duì)尖端半導(dǎo)體制造設(shè)備出口的限制措施正式生效。共有6大類23種設(shè)備被納入出口限制，覆蓋了芯片光刻、刻蝕、檢測(cè)各個(gè)環(huán)節(jié)。

7月14日，彭博社消息，荷蘭***巨頭阿斯麥公司（ASML）與中國(guó)客戶的合作將面臨美荷更嚴(yán)格的管制。新規(guī)要求從9月1日開(kāi)始。

7月5日，由日本政府支持的日本產(chǎn)業(yè)革新投資機(jī)構(gòu)（JIC）同意以約9093億日元（折合約64億美元）收購(gòu)全球市場(chǎng)份額第一的日本光刻膠巨頭JSR。

據(jù)中國(guó)的專利記錄顯示，清華大學(xué)（中國(guó)的“麻省理工學(xué)院”）、南京大學(xué)、中國(guó)科學(xué)院以及總部位于安徽合肥的Specreation公司，都在過(guò)去一年內(nèi)申請(qǐng)了EUV光源技術(shù)的專利。

據(jù)海關(guān)數(shù)據(jù)，截至2023年5月，我國(guó)已成功減少了455億顆芯片的進(jìn)口數(shù)量。基于這一規(guī)模，預(yù)計(jì)今年我國(guó)將進(jìn)一步減少超過(guò)1000億顆芯片的進(jìn)口量。

制造一臺(tái)高端***到底有多難

***又名掩模對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī)，是芯片制造流程中光刻工藝的核心設(shè)備。芯片的制造流程極其復(fù)雜，而光刻工藝是制造流程中最關(guān)鍵的一步，光刻確定了芯片的關(guān)鍵尺寸，在整個(gè)芯片的制造過(guò)程中約占據(jù)了整體制造成本的35%。

芯片制造用的前道***，主要應(yīng)用于晶圓制造，并且隨著芯片制程越小，晶圓尺寸越大，***的要求就越高。

典型產(chǎn)品就是EUV，主要由四部分構(gòu)成：極端紫外光源、反射投影系統(tǒng)、光刻模板（mask）、能夠用于極端紫外的光刻涂層（photo-resist）。幫助臺(tái)積電等晶圓代工廠實(shí)現(xiàn)5nm、3nm等先進(jìn)制程工藝。

芯片制造用的后道***，主要用于封測(cè)，正是國(guó)產(chǎn)***廠商的主力戰(zhàn)場(chǎng)。

第三種是面板***，主要用于分立器件、LED等制造。

目前數(shù)據(jù)顯示，在EUV、ArFi、ArF等三個(gè)高端機(jī)型上，ASML出貨量占比分別為100%、95%、87%。

圖1 ***產(chǎn)品解析表 來(lái)源：頭豹研究院

據(jù)了解，一臺(tái)荷蘭ASML的EUV***需要10萬(wàn)多個(gè)零件，而且90%以上的零配件是由全球各國(guó)供應(yīng)的。比如軸承是由瑞典來(lái)設(shè)計(jì)和制造，鏡頭是由德國(guó)蔡司公司生產(chǎn)，激光設(shè)備是由日本設(shè)計(jì)并提供等等。

通俗地說(shuō)：如果沒(méi)有ASML的頂級(jí)***，也就造不出來(lái)高工藝水平的芯片。

當(dāng)前，我國(guó)***產(chǎn)業(yè)處處被“卡脖子”。上海微電子副董事長(zhǎng)賀榮明曾在受訪時(shí)表示：“2002年，我國(guó)專家出國(guó)考察時(shí)，對(duì)方工程師說(shuō)，哪怕把所有圖紙都給你們，你們也未必能做出***。”

另外，臺(tái)積電赴美之前，張忠謀也曾公然表示：“就算給大陸10萬(wàn)億美元，他們也不可能造出一顆高端芯片”。

中芯國(guó)際孟良松曾含淚說(shuō)到：其實(shí)我們?cè)缇凸タ肆?nm生產(chǎn)工藝，無(wú)奈的是EUV***無(wú)法拿到，所以目前止步于12nm。

ASML對(duì)中國(guó)態(tài)度大反轉(zhuǎn)西方國(guó)家開(kāi)始動(dòng)搖

ASML***，最新進(jìn)展。ASML 持續(xù)改進(jìn) DUV 系統(tǒng)。全新 NXT:2100i 具有 4 個(gè)新功能，可改善未來(lái)邏輯和 DRAM 的重疊和邊緣放置錯(cuò)誤。

據(jù)季度財(cái)務(wù)電話會(huì)議來(lái)看，ASML 目前已發(fā)貨超過(guò) 200 個(gè) NXE:3400/3600 系統(tǒng)。從總數(shù)看來(lái)，這個(gè)統(tǒng)計(jì)是有缺失的，因?yàn)楫?dāng)下統(tǒng)計(jì)是基于 ASML 的銷售數(shù)字，然后發(fā)貨和統(tǒng)計(jì)銷售之間存在一些延遲。但可以預(yù)計(jì)的是，NXE:3600D 要么是/要么很快就會(huì)成為出貨量最多的系統(tǒng)。

ASML 將繼續(xù)對(duì)其產(chǎn)品線進(jìn)行不懈的改進(jìn)計(jì)劃。更快、更精確的 DUV 和 0.33 NA EUV 工具。開(kāi)發(fā)即將推出的 0.55NA 高 NA EUV 工具，甚至超越高 NA 到可能的超 NA 工具。

最近，一位荷蘭工程師在社交網(wǎng)站上發(fā)表說(shuō)：“物理定律全世界都是一樣的，荷蘭既然能做到，中國(guó)也一定能制造出頂級(jí)***，只是時(shí)間問(wèn)題而已”。

目前，我國(guó)在芯片領(lǐng)域頻頻突破。

中科院院士郭光燦和中科院量子信息重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室副主任郭國(guó)平教授，聯(lián)合創(chuàng)立的本源量子公司突然宣布：已經(jīng)掌握了量子芯片工業(yè)軟件設(shè)計(jì)的核心技術(shù)，并且成功研發(fā)了首款量子芯片設(shè)計(jì)軟件。在光芯片、3D堆疊加等技術(shù)領(lǐng)域中國(guó)也早已開(kāi)始布局，并且也取得不錯(cuò)的成績(jī)，這些都可繞開(kāi)ASML的EUV***。

論EUV***核心技術(shù)中的工件平臺(tái)而言，中國(guó)華卓精密科技有限公司自研的雙工件臺(tái)，徹底打破了ASML的技術(shù)壟斷，成為了全球第二家掌握雙工件平臺(tái)核心技術(shù)的企業(yè)！

另外，哈工大在***領(lǐng)域更是頻頻突破。2月，宣布自研超精密高速激光干涉儀，并榮獲世界光子大會(huì)“金燧獎(jiǎng)”金獎(jiǎng)這樣的頂級(jí)獎(jiǎng)項(xiàng)；3月份在激光領(lǐng)域再獲重大突破，為研發(fā)小型化短波激光器提供了全新的解決方案；4月，又宣布實(shí)現(xiàn)了“電能轉(zhuǎn)化等離子體線路”,實(shí)現(xiàn)了DPP-EUV光源。

近日，在ASML年度股東大會(huì)上，ASML總裁表示，中國(guó)尋求開(kāi)發(fā)自己的半導(dǎo)體制造設(shè)備合情合理。

美國(guó)要求ASML禁止向中國(guó)出售DUV***，被ASML直接拒絕，表示中國(guó)是芯片產(chǎn)業(yè)鏈重要一環(huán)，不可能繞過(guò)中國(guó)。荷蘭高管甚至警告美國(guó)：ASML是歐洲企業(yè)，美國(guó)沒(méi)有權(quán)利干涉我們把***賣給誰(shuí)！

目前，ASML在中國(guó)市場(chǎng)的影響力日益增強(qiáng)，中國(guó)大陸的芯片制造商正在積極備貨并向ASML下更多的訂單。從第一季度到第二季度，中國(guó)大陸營(yíng)收占ASML總營(yíng)收比例從8%增長(zhǎng)到了24%。這一數(shù)據(jù)再次證明了中國(guó)市場(chǎng)對(duì)ASML的重要性。

任重道遠(yuǎn)國(guó)產(chǎn)替代進(jìn)行時(shí)

日本在半導(dǎo)體芯片領(lǐng)域依然擁有話語(yǔ)權(quán)。以半導(dǎo)體光刻膠為例，日本壟斷了全球87%的市場(chǎng)份額。在***中，尼康和佳能的DUV***也占有一定的市場(chǎng)份額。

三星集團(tuán)的CEO就曾表示:“如果***缺少了光刻膠，那么***就是一堆廢鐵。”

現(xiàn)在10nm制程以下的光刻膠，基本上只有日企能夠生產(chǎn)。

不同制程的***，對(duì)應(yīng)著不同波長(zhǎng)的光線，對(duì)應(yīng)著就需使用不同種類的光刻膠。

EUV***，用于7納米以下支撐，極紫外光的波長(zhǎng)小于13.5納米，用EUV光刻膠。

DUV***，采用深紫外光，波長(zhǎng)193納米，用ArF光刻膠（或者ArFi光刻膠），也可以簡(jiǎn)稱“A膠”。

微米級(jí)別，光的波長(zhǎng)248納米，得用KrF光刻膠，或者稱“K膠”。

相對(duì)來(lái)說(shuō)最容易，為g線和i線的光刻膠，波長(zhǎng)436納米和365納米。

現(xiàn)如今，g線和i線的光刻膠市場(chǎng)相對(duì)飽和，國(guó)產(chǎn)化率也比較高。

而高端光刻膠需要嚴(yán)格控制金屬雜質(zhì)含量，國(guó)內(nèi)精細(xì)化工方面水平略顯不足。但在整個(gè)半導(dǎo)體光刻膠市場(chǎng)中，EUV只占到1%，A膠和K膠，合計(jì)占了82%，這也是我們現(xiàn)階段努力攻破的重點(diǎn)，國(guó)內(nèi)企業(yè)任重道遠(yuǎn)。

最近，江蘇徐州小廠一舉打破日本長(zhǎng)達(dá)20年的壟斷，將國(guó)產(chǎn)光刻膠的純度提升10倍，使KrF、ArF高端光刻膠實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)。成為目前國(guó)內(nèi)唯一實(shí)現(xiàn)上游材料100%國(guó)產(chǎn)化的光刻膠公司。這讓外媒再次被震撼：“低估中國(guó)，是犯大錯(cuò)！”

在國(guó)產(chǎn)化替代的道路上，***的上下游均涌現(xiàn)出了一批優(yōu)秀供應(yīng)商，比如***光源系統(tǒng)廠商福晶科技，物鏡系統(tǒng)廠商奧普光電，光掩膜版廠商菲利華，缺陷檢測(cè)廠商?hào)|方晶源，光刻膠廠商南大光電、容大感光，光刻氣體廠商雅克科技、華特氣體等。

***具體廠家名錄：（排名不分先后）

光刻膠具體廠家名錄：（排名不分先后）

我國(guó)通過(guò)自主研發(fā)和創(chuàng)新，依靠龐大的市場(chǎng)需求，逐漸減少了對(duì)外部技術(shù)和設(shè)備的依賴，并取得了一系列突破。因此，在***、芯片等領(lǐng)域，我們?nèi)找驷绕穑蔀槿蚩萍及l(fā)展的領(lǐng)導(dǎo)者。

與此同時(shí)，我國(guó)將繼續(xù)致力于加大力度，在關(guān)鍵領(lǐng)域進(jìn)一步推動(dòng)自主研發(fā)和創(chuàng)新。這不僅為我國(guó)持續(xù)發(fā)展提供了動(dòng)力，也為全球科技進(jìn)步做出了積極貢獻(xiàn)。