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半導體晶圓厚度測量解決方案

簡儀科技 ? 來源:簡儀科技 ? 2023-08-16 11:10 ? 次閱讀

應用

半導體晶圓的厚度測量在現代科技領域具有重要地位。在晶圓制造完成后,晶圓測試是評估制造過程的關鍵環節,其結果直接反映了晶圓的質量。這個過程中,每個芯片的電性能和電路機能都受到了嚴格的檢驗。

在測試過程中,晶圓被穩固地固定在真空吸力的卡盤上,然后與很薄的探針電測器精確對準,確保探針與每個芯片的焊接墊緊密接觸。電測器在電源的驅動下測試電路并記錄結果。這個自動化的測試過程,如測試的數量、順序和類型均由計算機程序控制,使得整個過程高效自動化,不需要人工輔助。

為了測量晶圓的厚度,激光差動共焦傳感器被應用于測試過程中,并需要實時記錄每次測試的晶圓位置信息。通過電機勻速帶動晶圓旋轉,傳感器對晶圓進行掃描,利用簡儀高精度多功能采集卡USB-5516的AI模擬采集)和CI(編碼器采集)同步采集功能,實現了晶圓測試中傳感器數據和電機位置信息的同步采集,通過數據分析獲得晶圓的厚度以及對應位置信息。

使用的簡儀產品

硬件:

解決方案中,簡儀科技的USB-5516采集卡發揮了重要作用。這款采集卡是JY-5500系列中的一員,具備16通道18位高精度多功能采集,同時支持2路動態模擬輸出、24路數字IO和2通道32位通用定時器/計數器功能,能夠輕松實現AI、AO、CI與CO的同步工作。

軟件:

Visual Studio C#作為一款流行的集成開發環境,為解決方案提供了強大的編程支持和開發工具,幫助客戶實現各種復雜的功能和操作。

SeeSharpTools(銳視測控程序開發工具包)是簡儀科技獨有的資源,為客戶提供了豐富的開發工具和支持,使得開發人員能夠更加高效地利用簡儀產品進行開發和測試。

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為什么選擇簡儀

簡儀科技成為客戶的選擇,原因眾多。開源免費的軟件平臺、出色的性能價格比,以及完善的售后支持和服務,都是客戶青睞的原因。作為本土企業,簡儀科技不僅滿足了國產化的需求,還通過其強大易用的開發環境——銳視測控平臺,為客戶提供了便捷的解決方案。

通過與簡儀科技的合作,半導體晶圓厚度測量得到了高效、可靠的解決,進一步推動了國產化創新的發展。簡儀科技將持續致力于為客戶提供優質產品與專業服務,助力各行業在測試測量領域不斷取得新的成就。

審核編輯:湯梓紅

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原文標題:半導體晶圓厚度測量

文章出處:【微信號:簡儀科技,微信公眾號:簡儀科技】歡迎添加關注!文章轉載請注明出處。

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