引言
如果有人認為化學鍍銅和其他金屬化系統(tǒng)深不可測,那么關(guān)于電鍍就更像是復雜的腦外科手術(shù)。
文章將詳細介紹電沉積技術(shù)的復雜性及其在孔和表面上形成銅厚度的功能。還將介紹鍍銅溶液中活性成分的作用,各種鍍液成分的過程控制限制及其對沉積完整性的影響。
電沉積
與典型初始通孔金屬化的化學鍍銅不同,通孔中的導電層需要通過電沉積銅累積達到一定厚度。據(jù)了解,這些技術(shù)相互重疊,即一些初始金屬化工藝使用直接電鍍,相反,全加成工藝僅通過化學鍍工藝生成銅。
通過電鍍形成銅層的優(yōu)勢在于成本較低、沉積速率較快以及電鍍銅性能更佳。改進集中在電解液的“均鍍銅”上,即電解液在板表面和通孔內(nèi)沉積相對均勻銅沉積物的能力。采用高酸低銅濃度,以及改進的有機添加劑系統(tǒng)(光亮劑、載體、整平劑),提高了深鍍能力。不要低估電鍍槽設(shè)計、從電源到母線的電纜連接以及溶液移動對電鍍分布及沉積層整體質(zhì)量的影響。
電路板設(shè)計技術(shù)的發(fā)展變化導致了其他挑戰(zhàn)和復雜性。電路設(shè)計向更高密度和超高密度的轉(zhuǎn)變帶來了工藝技術(shù)的新一波改進。
PCB制造中使用了其他幾種電鍍工藝。作為金屬抗蝕劑的錫、金屬抗蝕劑的鉛或錫通常采用電鍍工藝,有時也采用化學鍍工藝。其他電鍍金屬包括鎳、金和鈀(也是通過浸鍍液或化學鍍液沉積),以形成適當?shù)谋砻嫱繉樱糜诓迦?a target="_blank">連接器或元件連接,例如引線鍵合。后續(xù)專欄文章將概述這些工藝。
按照酸浸清洗劑、微蝕和酸預浸的順序進行預鍍清洗,開始本文的重點酸銅電鍍工藝。酸預浸是可選的,如果微蝕后的沖洗足夠,可以省略酸預浸工序。然而,這種情況僅適用于使用過氧化氫、過氧化硫酸微蝕劑。使用過硫酸鹽蝕刻劑需要進行酸預浸。酸清洗劑關(guān)鍵的變量是化學成分、濃度、時間和溫度。
對于微蝕,蝕刻深度是關(guān)鍵參數(shù),反過來又受化學成分、濃度、時間和溫度的影響。酸預浸通常與鍍液中使用的酸和濃度相同,可保護鍍液,避免帶入殘留液,殘留液可能會對鍍液的成分或濃度產(chǎn)生不利影響。因此,預浸的化學成分及其污染物含量至關(guān)重要。
酸性鍍銅液的關(guān)鍵參數(shù)包括電氣、機械、物理和化學變量。從電氣參數(shù)開始,電流密度和一次電流密度分布影響電鍍速度、厚度分布和冶金性能,例如延展性、粗糙度和沉積層顏色。
電鍍表面的電流密度取決于整流器容量、相關(guān)陽極和陰極尺寸和間距、屏蔽、電鍍槽效率和溶液電導率。電鍍表面的電流密度分布取決于前面提到的一些參數(shù),在圖形電鍍中,還取決于電路圖形。
通孔中的電流密度取決于以下附加變量:
通孔直徑和厚徑比;
鍍液(攪拌)的補充效率(孔內(nèi));
鍍液的深鍍能力,在很大程度上取決于酸/銅比、有機電鍍添加劑和干擾有機電鍍添加劑的雜質(zhì)(浸出劑)含量。
圖1為深鍍能力的定義。后續(xù)專欄將介紹電沉積過程的實際力學和工藝參數(shù)的影響。
圖1:均鍍力的定義電鍍通孔的難度取決于板厚和孔徑。
例如,厚徑比均為10:1的兩個孔,一個孔使用厚度為100密耳的面板和直徑為10密耳的導通孔,而另一個使用厚度為200密耳的面板和直徑為20密耳的孔。兩種設(shè)計具有相同的厚徑比。
圖2強調(diào)了隨著厚徑比和板厚度的增加,保持均鍍力的難度。它說明了IR降(或通過導通孔的電阻)將會隨板厚度的平方提高,而導通孔直徑僅以線性方式影響電阻(或均鍍力)。
圖2:左欄表示板厚,右欄表示孔直徑
審核編輯:湯梓紅
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原文標題:電沉積銅
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