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電子發燒友原創章鷹

近日，中國半導體行業協會集成電路分會理事長葉甜春介紹了國內集成電路的最新形勢。2008年到2022年中國集成電路產業保持快速增長，2022年，中國IC設計銷售額達到5156.2億元，銷售額增長13.2倍，制造業銷售收入達到2995.1億元，銷售額增長9.8倍。2022年，國內14家代表設備廠商營業收入已經超過300億元。

近日，調研機構CINNO又發布最新的調研報告顯示，2023年上半年中國大陸半導體設備廠商市場規模前十大公司合計超160億元，同比增長39%，環比下降9%。

本文詳細解讀一下排名前10的中國半導體設備廠商財報和最新半導體設備產品進展。

2023年1H國產半導體設備廠商業績變化：7家業績和凈利潤高增長，3家同比下滑

半導體設備行業在2023年上半年實現了持續的高增長，看好未來的“資本開支+國產化率+政策支持”三輪驅動。2023年上半年，北方華創作為國內半導體設備行業龍頭企業，上半年營收達到84.27億元，遠超第二、第三名廠商，位列第一。中微公司排名第二，上半年營收達到25.27億，盛美上海排名第三，上半年營收達到16.1億。華海清科上半年營收達到12.34億，從2022年排名第6躍升到第四名，成績亮眼。

凈利潤方面，排名前四的半導體設備廠商利潤同比增長均超過85%，顯示盈利能力持續提升，北方華創上半年的凈利潤達到17.99億，同比增長138.43%，表現亮眼。中微半導體上半年凈利潤達到10.03億，同比增長114.40%。長川科技、華峰測控和新益昌出現了營收和凈利潤下滑。

近年來，半導體設備充分受益于國產自主可控以及晶圓廠擴建浪潮，持續保持逆周期強勁增長。不過，在行業去庫存深入推進背景下，半導體設備持續獲得新增訂單能力備受市場關注。

Top1北方華創：國產替代加速，公司收入和凈利潤創歷史新高

4月28日，北方華創發布2022年年度業績報告稱，年度實現營收146.88億元，同比增長51.68%，實現公司營業收入“百億級”跨越；歸屬于上市公司股東的凈利潤23.53億元，同比增長118.37%。2023年上半年，北方華創實現營收84.27億，同比增加54.79%；實現歸母凈利潤17.99 億元，同比增加138.43%。

盈利能力大幅提升，在手訂單充裕。2023H1 公司電子工藝裝備、電子元器件的營收分別為73.49 億元和10.59 億元。產品層面，公司覆蓋刻蝕、薄膜、立式爐、外延、清洗、臥式爐等多個領域，無論是邏輯還是存儲，國內多家晶圓廠均與公司保持著密切的合作關系，公司2023年以來相繼推出12 英寸晶邊刻蝕機、12 英寸去膠機等新產品，同時各類標桿產品相繼達到銷量里程碑。

9月18日，北方華創在投資者平臺透露，公司前期已經發布了首臺國產12英寸CCP晶邊干法刻蝕設備研發成功的有關信息，目前已在客戶端實現量產，其優秀的工藝均勻性、穩定性贏得客戶高度評價。

Top2：中微公司：刻蝕設備國產替代領軍者，凈利潤同比增長114.4%

中微公司上半年實現營收25.27億元，同比增長28.13%。分產品來看，公司刻蝕設備在國內外的市占率不斷提高，實現收入17.22億元，同比增長約32.53%；MOCVD設備在藍綠光LED生產線上繼續保持絕對領先的地位，實現收入2.99億元，同比增長約24.11%。

中微公司董事長尹志堯表示，公司開發的刻蝕設備和MOCVD設備，已在性能和性價比上進入國際三強，部分產品在其細分領域全球領先。同時，LPCVD等多款新產品研發項目正在快速推進。在國際最先進的5納米芯片生產線及下一代更先進的生產線上，公司的CCP刻蝕設備實現了多次批量銷售，已有超過200臺反應臺在生產線合格運轉。

中微公司針對28nm及以下邏輯器件的一體化大馬士革刻蝕工藝開發的可調節電極間距的CCP刻蝕機PrimoSD-RIE已經進入客戶驗證階段。

Top3盛美上海：在手訂單總額68億，超過去年營收規模2倍

受益于國內半導體設備市場需求的不斷增加、盛美上海公司新產品訂單穩步起量以及新客戶、新市場開拓取得的成效，2022年度公司營收、凈利潤持續保持高質量的快速增長。

盛美上海今年上半年營業收入實現16.10 億元，同比增長46.94%，公司實現歸屬凈利潤4.39億元，同比增長約八成。相比去年上半年同期歸屬凈利潤同比1.64倍增長，今年公司業績同期增速有所回落。

盛美上海從事清洗設備、電鍍設備、無應力拋光設備、立式爐管設備、前道涂膠顯影設備和等離子體增強化學氣相沉積設備等的開發、制造和銷售。截至2023年9月27日，公司在手訂單總金額為67.96億元，其中，已簽訂合同訂單總額65.26億元，同比增長約四成，已中標尚未簽訂合同訂單2.7億元，同比增長近16倍。

Top4 華海清科：CMP設備領域國產化領跑者，多品類并行發展

華海清科是一家擁有核心自主知識產權的高端半導體設備供應商，公司在納米級拋光、納米精度膜厚在線檢測、納米顆粒超潔凈清洗、大數據分析及智能化控制等關鍵技術層面取得了有效突破和系統布局，開發出了Universal系列CMP設備、Versatile系列減薄設備、HSDS/HCDS系列供液系統、膜厚測量設備，初步實現了“裝備+服務”的平臺化戰略布局。

這家公司在2022年6月上市，上半年半導體裝備相關營收12.3億元，同比增長72%。在設備領域，2022年度，公司CMP設備在邏輯芯片、DRAM存儲芯片、3DNAND存儲芯片等領域的成熟制程均完成了90%以上CMP工藝類型和工藝數量的覆蓋度，部分關鍵CMP工藝類型成為工藝基準（Baseline）機臺。今年9月1日，華海清科首臺12英寸單片終端清洗機HSC-F3400機臺發往國內大硅片龍頭企業。HSC-F3400機臺是這家公司在濕法設備系列產品中推出的一項重要成果。

Top5 拓荊科技：營收和凈利潤同增長，SACVD和HDPCVD設備實現產業化

拓荊科技聚焦于半導體薄膜沉積設備，目前已形成PECVD、ALD、SACVD、HDPCVD等薄膜設備產品系列，該產品系列已廣泛應用于國內集成電路邏輯芯片、存儲芯片等制造產線。公司上半年收入10.04億元，同比增長91.83%；歸屬母公司凈利潤1.25億元，同比增長15.22%。受益于國內晶圓廠持續擴產，

報告期內，拓荊科技的PECVD設備實現銷售收入9.08億元，較上年同期增長94.35%；HDPCVD設備、應用于晶圓級三維集成領域的混合鍵合設備順利通過客戶端產業化驗證，實現了首臺的產業化應用，ALD設備、SACVD設備持續獲得客戶驗收，均實現銷售收入。

Top6長川科技：上半年營收和凈利潤下滑，數字SoC測試機開始放量

長川科技主營半導體測試設備，包括測試機、分選機、探針臺等，今年上半年半導體裝備相關營收7.6億元，同比下降36%。今年上半年，行業景氣度影響下游擴產節奏，公司傳統測試、分選機等業務營收同比承壓，同時客戶短期訂單節奏等也一定程度影響了數字SoC 測試機等的收入表現。公司上半年測試和分選機收入為2.5 億元和4.3億元，分別同比下滑48%和33%。

Top 7 芯源微：涂膠顯影龍頭，上半年業績大幅度提升

芯源微主營半導體晶圓制造中的濕制程設備，包括涂膠顯影、刻蝕、清洗設備等，1H'23半導體裝備相關營收7.0億元，同比增長38%。

上半年，芯源微浸沒式涂膠顯影機在客戶端導入進展良好，其中超高溫Barc 設備取得客戶重復性訂單；公司前道物理清洗機產品具備高產能、高顆粒去除能力、高性價比等優勢，上半年需求旺盛，已成為國內邏輯、功率器件廠商主流機型。

Top 8 至純科技：凈利潤和營收同比正增長，多元化策略見效

至純科技主營業務包括高純工藝集成系統、半導體濕制程設備、光傳感及光器件等，1H'23半導體裝備相關業務營收4.4億元，同比增長17%。

在2023年上半年，至純科技獲得的新訂單總額高達32.66億元，年增38.28%，其中半導體行業占比73.65%。同時，公司也成功吸引了來自泛半導體和生物醫藥行業的訂單，證明其市場影響力和多元化策略開始見效。

Top 9 華峰測控：業績承壓，面向SoC領域推出新一代測試平臺

華峰測控主營業務為半導體自動化測試系統的研發、生產和銷售，產品主要用于模擬、數?；旌稀⒎至⑵骷?a target="_blank">功率模塊等集成電路的測試，今年上半年半導體裝備相關業務營收3.8億元，同比下降30%。受行業周期下行影響，華峰測控訂單下降，導致上半年營收、凈利潤下滑。但公司訂單環比逐步向好，大客戶批量訂單增加。

今年 6月，華峰測控推出了面向SoC領域的新一代測試平臺 STS8600，該機型擁有更多的測試道道數以及更高的測試頻事，進一步完善了公司的產品線，拓寬了公司產品的可測試范圍。

Top10 新益昌：LED固晶機龍頭，營收和凈利潤承壓

新益昌聚焦封裝用固晶機、電容老化測試設備，其在中國大陸LED固晶機領域有領先地位，新益昌在國內固晶機市場的占有率已經超過70%，客戶普及率也已超過9 成。

2023年上半年，新益昌實現營業收入5.39億元，較上年同期減少16.43%；實現歸母凈利潤4409.86萬元，較上年同期減少63.90%。伴隨下游擴產逐步回暖，公司預計下半年高毛利的Mini LED 固晶設備收入占比有望提升，盈利能力存優化空間。

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