2023年9月,科友半導體自產首批8英寸碳化硅襯底成功下線。
科友半導體8英寸碳化硅(SiC)中試線在2023年4月正式貫通后,同步推進晶體生長厚度、良率提升和襯底加工產線建設,加快襯底加工設備調試與工藝參數優化,SiC襯底加工良率和面型參數上不斷取得新的進展。
2023年9月,科友首批自產8英寸SiC襯底于科友產學研聚集區襯底加工車間成功下線,這標志著科友在8英寸SiC襯底加工,以及大尺寸襯底產業化方面邁出了堅實一步。
批量生產的8英寸碳化硅晶體
8英寸碳化硅切割片
科友首批8英寸碳化硅襯底
科友半導體8英寸SiC襯底的突破將超越一城一事的歡喜,代表著中國的8英寸SiC距離“實現”又邁出堅定一步!
哈爾濱科友半導體產業裝備與技術研究院有限公司成立于2018年5月,企業坐落于哈爾濱市新區,是一家專注于第三代半導體裝備研發、襯底制作、器件設計、科研成果轉化的國家級高新技術企業,研發覆蓋半導體裝備研制、長晶工藝、襯底加工等多個領域,已形成自主知識產權,實現先進技術自主可控。
科友半導體在哈爾濱新區打造產、學、研一體化的第三代半導體產學研聚集區,實現碳化硅材料端從原材料提純-裝備制造-晶體生長-襯底加工-外延晶圓的材料端全產業鏈閉合,致力成為第三代半導體關鍵材料和高端裝備主要供應商。
審核編輯:劉清
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原文標題:科友半導體自產首批8英寸碳化硅襯底下線
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