紅外探測器的光譜響應一致性影響高光譜成像儀器的動態范圍，研究高光譜成像用拼接型短波紅外探測器在同一光譜維的響應均勻性對提高高光譜成像性能有重要意義。量子效率是衡量紅外探測器光電轉換性能的重要參數，準確測量探測器的光譜響應率可更加準確地測算量子效率曲線。

據麥姆斯咨詢報道，近期，中國科學院上海技術物理研究所紅外成像材料與器件重點實驗室的科研團隊在《紅外與激光工程》期刊上發表了以“拼接型短波紅外探測器的光譜響應特性”為主題的文章。該文章第一作者為廖清君，通訊作者為胡曉寧研究員，主要從事紅外光電器件的理論及工藝方面的研究工作。

本文分析了不同中心波長和不同半帶寬的濾光片對短波紅外探測器測量光譜響應率的影響，實現了絕對光譜響應的準確測量，提出采用光譜響應率及其非均勻性來評價光譜成像用拼接型紅外探測器的光譜響應性能。

試驗材料、儀器與方法

樣品的準備

所用樣品為中國科學院上海技術物理研究所研制的高光譜用碲鎘汞短波紅外探測器，響應波段為1.0~2.5 μm，規格為2000×256，中心距為30 μm×60 μm，由512×256器件拼接而成，其中，2000方向為空間維，256方向為光譜維，器件示意圖如圖1所示。由于探測器是由四個不同的探測器拼接而成，光譜維上的探測器的光譜響應一致性對高光譜成像應用顯得尤為重要。實驗中對四個512×256探測器模塊進行了絕對光譜響應的測量，濾光片選用瑞典Spectrongon公司的五個型號的窄帶濾光片。

圖1 2000×256拼接型碲鎘汞短波紅外探測器

樣品光譜響應率測量

測量紅外探測器的光譜響應率一般有兩種方法。一種方法是通過測量探測器的黑體響應率和相對光譜響應。另一種方法是測出響應波長范圍內某一波長點上的絕對響應，再根據相對光譜響應推算到整個響應波長范圍，某一波長點的獲取比較難，一般用光譜寬度比較窄的帶通濾光片讓某一窄波段范圍的光入射到探測器表面，近似為該光譜寬度中心波長點的絕對響應。文中試驗采用第二種方法。

文中試驗采用《紅外焦平面陣列參數測試方法》（GB/T 17444）對探測器的相對光譜響應和窄帶性能進行測試。

樣品相對光譜響應的測量

相對光譜響應是紅外探測器的重要特性之一，描述了探測器響應率與入射波長的相對關系。相對光譜響應測試一般采用傅里葉變換法和光柵分光法。傅里葉變換法采用傅里葉變換紅外光譜儀、前置放大器等組成的測試系統對紅外器件的光譜響應進行測試。采用傅里葉變換法測量相對光譜響應時，探測器上接收的光信號是按傅里葉頻率調制的信號，與動鏡掃描速度和測量的波數相關，即便是通過儀器函數進行校正，由于FTIR光譜儀中的IR光源相當于具有一定溫度范圍的輻射體而非單一溫度黑體，光源的光譜分布以及探測器在短波一側的響應一般較低，仍然會造成探測器在短波方向的相對光譜響應測量誤差。

光柵分光法用一個寬譜光源經光柵分光產生波長連續變化的單色光，記錄被測探測器對不同波長的響應。這兩種方法獲得的光譜響應一般是探測器的相對光譜響應，是探測器對不同波長光的相對響應，典型的碲鎘汞短波紅外探測器的相對光譜響應如圖2所示。由于衍射效率和高級次衍射，光柵元件的工作范圍一般都比較窄，最長波長不超過最短波長的兩倍，采用光柵分光法測量相對光譜響應時，測量器件的不同波段需要切換光柵，為了在不同波段有足夠的信噪比，還有需要更換光源和標準探測器。文中試驗采用光柵分光的方法測量相對光譜響應。

圖2 典型的碲鎘汞短波紅外探測器的相對光譜響應曲線

窄帶性能測量

探測器的相對光譜響應測量有明確的測試方法和標準，因此，探測器光譜響應率的關鍵在于窄帶性能的準確測量。中國科學院上海技術物理研究所研制的高光譜用碲鎘汞短波紅外探測器的響應波段為1~2.5 μm。為了準確判斷探測器的光譜特性，希望能在1~2.5 μm波段范圍內選擇幾個波長點進行窄帶性能測試、比較。濾光片選用瑞典Spectrongon公司的五個型號的窄帶濾光片，如表1所示，如果能準確獲得窄帶響應，結合相對光譜響應曲線，則可以獲得短波紅外焦平面探測器的光譜響應率。表1中的半帶寬（FWHM）指濾光片最高透過率的1/2處所對應的波長，左右波長相減得到；截止范圍是指除了有效帶寬以外，要求截止的波長范圍；截止深度（OD）指截止帶中允許能透過光的最大透過率大小，OD=?lg（TOD）。OD3表示透過率TOD低于0.001，OD4表示透過率TOD低于0.0001，OD5表示透過率TOD低于0.00001。

表1 濾光片的性能參數

結果與討論

窄帶濾光片測試性能分析

假設探測器的截止波長為2.6 μm，光敏元大小為30 μm×60 μm，測試杜瓦的F數為0.9，F數為探測器光敏面至冷光闌開口的距離與冷光闌開口孔徑之比，讀出電路的積分時間為4.4 ms，積分電容為65 fF，探測器的量子效率按0.7估算，濾光片的截止范圍為190~3200 nm，截止深度OD3，根據黑體輻射出射度的計算公式可以估算探測器的輸出信號。

由于濾光片帶外截止不是完全截止，都有一定的透過率，因此估算了帶外完全截止（理想濾光片）和OD3的帶外截止深度的信號對比，以評估窄帶濾光片帶外截止對窄帶性能測試的影響。表2為測試時冷屏上安裝不同濾光片時，根據濾光片透過率曲線估算的探測器輸出電壓。

表2 不同濾光片下的輸出信號比較

從表2的數據比較可以看出，在黑體溫度為80℃下，4#和5#這兩種濾光片帶外截止深度OD3時對窄帶性能測試影響很小。1#濾光片1~2.6 μm波段范圍輻射到樣品表面的光子數2664遠遠高于窄帶帶通范圍1.22~1.23 μm范圍的光子數35。這是由于黑體輻射的能量分布在短波方向比較少，OD3的濾光片在帶外截止波段范圍輻射到樣品表面的光子數較多，圖3為黑體輻射透過1#濾光片輻射到樣品表面的光子數密度分布的理論計算結果。從圖3可以看出，黑體溫度為140℃的測試條件下，OD3濾光片的帶外截止性能不能滿足短波1.225 μm的窄帶測試性能，目前市面上難于獲得黑體溫度高于140℃的黑體，如果濾光片的截止深度可以做到更低或者增加短波窄帶濾光片的半帶寬，可以更好地抑制帶外截止的輻射影響。

圖3 黑體輻射透過1#濾光片到樣品表面的光子通量密度分布

圖4為黑體輻射透過5#濾光片到樣品表面的光子通量密度分布的理論計算結果。從圖4可以看出，黑體溫度為80℃的測試條件下，5#濾光片的帶外產生的光子數遠遠小于帶內波段的光子數，可以用于準確測量窄帶信號。

圖4 黑體輻射透過5#濾光片到樣品表面的光子通量密度分布

表3列出了黑體溫度為140℃時，在1.2 μm附近估算的短波波段不同半帶寬和不同截止深度的濾光片對窄帶性能測試的準確性的影響。

表3 不同帶外截止深度和不同半帶寬的濾光片輸出信號比較

從表3中的數據可以看出，濾光片的半帶寬增加到200 nm，帶外截止深度達到OD5的情況下，才可以忽略帶外的黑體輻射對帶內的窄帶性能測試的影響。市面上短波窄帶濾光片既要有較大范圍的帶外截止，而且截止深度達到OD5的水平，濾光片難獲得，而且價格比較昂貴。

光譜響應率測試

根據前面的分析，短波紅外焦平面探測器用5#濾光片，即中心波長為2.47 μm、半帶寬為50 nm、截止深度OD3的窄帶濾光片可以準確測量窄帶性能，5#濾光片的透過率曲線如圖5所示，同時，2.5 μm附近的窄帶響應是系統應用比較關注的性能。因此，測量2.47 μm處的窄帶響應，根據該響應和相對光譜響應推算其他短波波段的光譜響應，這比直接測量短波1.2 μm的窄帶性能可行性和準確性更高，探測器的相對光譜響應曲線短波方向誤差比長波方向稍大，這也是在推算光譜響應率時造成誤差的主要原因。為了解決這一問題，利用相對光譜響應經過標定的探測器對測試系統誤差進行校準，采用該方法來獲得被測探測器準確的相對光譜響應。

圖5 5#濾光片的透過率曲線

根據《紅外焦平面陣列參數測試方法》對四個512×256探測器進行了相對光譜響應測試，波長的步進為50 nm，測試結果如圖6所示，探測器相對光譜響應一致性非常好。同時對探測器的2.47 μm處50 nm半帶寬的窄帶響應率進行了測試，根據2.47 μm處的絕對光譜響應，結合相對光譜響應，按比例推算，得到探測器的光譜響應率。圖7為四個探測器的光譜響應率曲線，從圖7可以看出，原本相對光譜響應一致性非常好的四個探測器，其光譜響應率由于每個譜段的絕對響應差異而出現了分離，圖8為計算的四個探測器光譜響應非均勻性，從圖中可以看出，探測器在1 μm、1.9 μm和2.5 μm處的響應非均勻性分別為6.23%、6.06%、4.07%。相比傳統的測量探測器相對光譜響應和黑體響應率的方法，采用光譜響應率可以更加準確地評價短波紅外探測器的光譜響應特性，有利于探測器在高光譜成像中的合理應用。

圖6 短波紅外探測器的相對光譜響應曲線

圖7 短波紅外探測器的光譜響應率曲線

圖8 短波紅外探測器的光譜響應非均勻性

結論

綜上所述，本研究對高光譜成像用拼接型短波紅外探測器光譜響應特性進行了研究，提出采用光譜響應率及其均勻性來評價光譜成像用紅外探測器的光譜響應性能。分析了80℃和140℃不同的黑體溫度下，選擇不同半帶寬以及不同帶外截止深度的窄帶濾光片時，帶外信號對窄帶性能測試誤差的影響。根據分析結果，對短波紅外探測器來說，中心波長2470 nm、半帶寬50 nm、截止深度OD3的濾光片在測量短波紅外探測器光譜響應率時，能夠保證足夠小的半帶寬同時能準確測量窄帶性能。通過準確測量相對光譜響應和窄帶性能，獲得了光譜響應范圍1.0 μm ~ 2.5 μm的碲鎘汞短波紅外探測器的光譜響應率。光譜響應率測量實現了拼接型短波紅外探測器光譜響應的定量化測量，有助于探測器在高光譜成像應用中更加準確的評價和應用。

審核編輯：劉清