來源：Silicon Semiconductor

用于半導體加工的高溫解決方案。

Watlow是先進熱管理解決方案的提供商，推出了新型ASSURANT HT高溫加熱套，旨在滿足半導體加工的獨特需求。

當今先進的半導體工藝以及新的化學物質和應用，需要比以往更高的工作溫度范圍。ASSURANT HT的建議工作溫度高達350°C，使其成為最苛刻應用的完美解決方案。Watlow的玻璃技術可確保ASSURANT HT在潔凈室和易燃性方面達到SEMI標準，從而使堵塞和污垢問題成為過去。

Watlow之前發布的ASSURANT TC加熱器采用PTFE涂層玻璃纖維制成，可最大限度地提高半導體加工應用中氣體管線、泵管線、前級管線和排氣管線的熱均勻性和覆蓋范圍。這些解決方案可提供均勻的加熱，使整個加熱線上的溫度分布均勻。ASSURANT加熱器護套可完全覆蓋生產線，消除導致顆粒堆積的冷點，從而優化工藝設備的正常運行時間和芯片產量。

Watlow首席系統設計師Doug Schaefer表示：“我們很高興向市場推出新的ASSURANT HT，我們的第一代ASSURANT TC是適用于許多應用的可靠加熱解決方案，但隨著行業的發展，市場需要更高的溫度范圍。通過ASSURANT HT，我們為客戶提供了熱性能的階躍變化，這將有助于他們在氮化鈦等具有挑戰性的工藝上保持領先地位。”

ASSURANT HT與所有現有控制器兼容，使其成為真正的即插即用解決方案，可輕松與現有設備集成。Watlow在半導體行業的豐富經驗帶來了一系列經過徹底測試和驗證的創新突破性產品。

ASSURANT HT的推出標志著ASSURANT系列加熱器的新時代，該系列加熱器是專為半導體加工而全新設計的。

審核編輯 黃宇