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IGBT的終端耐壓結(jié)構(gòu)—平面結(jié)和柱面結(jié)的耐壓差異(1)

冬至子 ? 來(lái)源:橘子說(shuō)IGBT ? 作者:orange ? 2023-12-01 15:23 ? 次閱讀

IGBT是要耐受高電壓的,在《IGBT的若干PN結(jié)》一章中,我們從高斯定理、泊松方程推演了PN結(jié)的耐壓,主要取決于PN結(jié)的摻雜濃度。

在之前的討論中,我們并未考慮PN結(jié)的邊界變化,即只考慮了PN結(jié)作為平面結(jié)存在的情況。

但在實(shí)際的IGBT結(jié)構(gòu)中,PN結(jié)是存在邊界的,如圖所示,在一維方向,PN結(jié)的邊界為曲面結(jié);進(jìn)一步地,在二維方向?yàn)橹娼Y(jié),在三維方向?yàn)榍蛎娼Y(jié)。這種幾何結(jié)構(gòu)的改變,會(huì)導(dǎo)致PN邊緣處的電場(chǎng)不同于芯片內(nèi)部平面結(jié)的電場(chǎng),因此無(wú)法承受高的電壓。

這就是包括IGBT在內(nèi)的高壓功率半導(dǎo)體芯片需要引入終端耐壓結(jié)構(gòu)的原因。下面我們以二維柱面結(jié)為例,分一下柱面PN結(jié)與平面PN結(jié)在電場(chǎng)分布和耐受電壓之間的差異。(本章只對(duì)引入終端結(jié)構(gòu)的原因做分析,而不針對(duì)具體的終端結(jié)構(gòu)做分析,這方面可以找到大量的文獻(xiàn)資料。)

前面分析PN結(jié)耐壓用的直角坐標(biāo)系,顯然分析柱面結(jié)使用柱坐標(biāo)系更為方便。

圖片

將泊松方程]圖片變換為如圖所示的圖片的柱坐標(biāo)系,如下,

圖片

簡(jiǎn)化模型,認(rèn)為PN結(jié)在圖片圖片方向的擴(kuò)散速度相同,即柱面結(jié)的界面為標(biāo)準(zhǔn)的1/4圓形,這種情況下顯然(7-1)的第二項(xiàng)和第三項(xiàng)為零。

同時(shí)考慮圖片,(7-1)簡(jiǎn)化為

圖片

對(duì)(7-2)式積分,并利用邊界條件:耗盡區(qū)邊沿電場(chǎng)為零,即圖片,可計(jì)算出柱面PN結(jié)耗盡區(qū)內(nèi)任意位置的電場(chǎng)強(qiáng)度

圖片

其中, 圖片,表示空間電荷濃度。電場(chǎng)最大值出現(xiàn)在PN結(jié)界面處,即圖片,同時(shí)考慮到承受高電壓時(shí),耗盡區(qū)的寬度圖片遠(yuǎn)大于PN結(jié)深度圖片,所以電場(chǎng)峰值可以近似表達(dá)為:

圖片

回顧《IGBT的若干PN結(jié)》,在平面PN結(jié)中,同樣考慮耗盡區(qū)寬度為圖片,電場(chǎng)峰值的表達(dá)式為:

圖片

將(7-4)與(7-5)相比,就可以得出柱面PN結(jié)與平面PN結(jié)之間的關(guān)系,

圖片

因?yàn)?img src="http://file1.elecfans.com/web2/M00/B3/F7/wKgZomVpiaOACTkbAAACLdcLa2o592.jpg" alt="圖片" />,所以相同耗盡區(qū)寬度的情況下,顯然柱面PN結(jié)的電場(chǎng)峰值大于平面PN結(jié)的電場(chǎng)峰值。

即,在相同承壓情況下,元胞過(guò)渡區(qū)PN結(jié)所承受的電場(chǎng)強(qiáng)度會(huì)明顯大于元胞區(qū),而且這個(gè)比值會(huì)隨著耗盡區(qū)寬度的增加而增加,隨著PN結(jié)深的增加而減小。

舉例來(lái)說(shuō),對(duì)于1200V的IGBT來(lái)說(shuō),滿額承壓的時(shí)候耗盡區(qū)寬度大于100μm,一般元胞區(qū)的PN結(jié)深為3μm左右,那么過(guò)渡區(qū)的PN結(jié)電場(chǎng)強(qiáng)度比元胞區(qū)的平面PN結(jié)電場(chǎng)強(qiáng)度大30倍以上。

顯然,必須對(duì)IGBT的過(guò)渡區(qū)做處理,降低柱面結(jié)所在位置的電場(chǎng)強(qiáng)度,才能承受高電壓,終端結(jié)構(gòu)的引入就是為了達(dá)到這個(gè)目的。

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