下面對電場積分,我們看看隨著增長,即耗盡區(qū)深度的增長,柱面結(jié)與平面結(jié)所承受電壓分布的差異。
因?yàn)殡妷褐饕蓳诫s濃度更低的基區(qū)來承受,所以在耗盡區(qū)內(nèi)對(7-3)從PN結(jié)邊界到耗盡區(qū)積分,即得到電壓分布
,
回顧《IGBT中的若干PN結(jié)》,對于平面PN結(jié),電壓分布表達(dá)式為
對于1200V器件,假設(shè)其襯底濃度為
,可以看出來,柱面結(jié)所延展出來的耗盡區(qū),其電壓增長速度遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于平面結(jié),所以必須采用多個柱面結(jié)來分擔(dān)電壓。
以上,我們討論了柱面結(jié)相較平面結(jié)的變化趨勢,發(fā)現(xiàn)其差異已經(jīng)如此之大。實(shí)際上對于芯片四個角落的PN結(jié),其形貌為球面結(jié),上述差異會進(jìn)一步擴(kuò)大,相同電壓情況下,PN結(jié)界面的電場差別更大(后面我們會進(jìn)行計(jì)算),這在IGBT設(shè)計(jì)過程中必須要仔細(xì)斟酌。
下面我們再分析一下柱面結(jié)和平面結(jié)的雪崩電壓差異。PN結(jié)的雪崩電壓指的是PN結(jié)發(fā)生雪崩擊穿時所對應(yīng)的電壓值。
之所以會發(fā)生雪崩擊穿,是因?yàn)檩d流子(電子或者空穴)在耗盡區(qū)中被電場加速,這個過程中可能會與低能量的電子(本來處于禁帶)發(fā)生碰撞,而將其激發(fā)到導(dǎo)帶,成為新的載流子。
在《微觀電流》一章中,我們對這個過程進(jìn)行過描述。顯然,當(dāng)載流子能量足夠大,使其碰撞產(chǎn)生的新的載流子數(shù)量大于復(fù)合的載流子數(shù)量,那么這個碰撞過程就會持續(xù)積累,最終發(fā)生“雪崩”而損壞。
雪崩過程通常用碰撞電離率來描述,其物理意義為載流子在耗盡區(qū)中經(jīng)過1cm所碰撞產(chǎn)生的電子空穴對。
假如1個電子進(jìn)入耗盡區(qū),很容易推測,當(dāng)這個電子穿過整個耗盡區(qū)過程中,其碰撞產(chǎn)生的電子數(shù)量多余1個,那么就會發(fā)生雪崩效應(yīng)。
這個過程用數(shù)學(xué)表達(dá)式描述即為,以此為條件我們就可以計(jì)算出來平面結(jié)和柱面結(jié)的雪崩電場值。
碰撞電離率一般為經(jīng)驗(yàn)表達(dá)式,其中常用的一種簡化表達(dá)式為:
先看平面結(jié),其電場表達(dá)式為,帶入(7-9)并對
在整個耗盡區(qū)進(jìn)行積分,
同樣,對于1200V的IGBT,假設(shè)PN結(jié)深,襯底濃度
為
,求解(7-10),可以得到雪崩時的耗盡區(qū)寬度
,相應(yīng)的電場即為雪崩電場,即
再看柱面結(jié),其電場分布表達(dá)式為(7-3),帶入(7-9),
求解(7-12),得到,明顯小于平面結(jié)的耗盡區(qū)寬度,相應(yīng)的電場即為雪崩電場,即
對照(7-11)和(7-13),按碰撞電離的經(jīng)驗(yàn)公式(7-9)所計(jì)算出來的雪崩擊穿電場有所不同,但在同一個數(shù)量級,這個計(jì)算過程是可信的。
因此,柱面結(jié)雪崩時的耗盡區(qū)僅為40,而平面結(jié)雪崩時的耗盡區(qū)卻可以達(dá)到175
柱面結(jié)雪崩時的耗盡區(qū)寬度遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于平面結(jié)。
將雪崩電場所對應(yīng)的耗盡區(qū)寬度分別帶入(7-7)和(7-8),并將摻雜濃度設(shè)定為8e13(1200V規(guī)格),可以得到平面結(jié)和柱面結(jié)在雪崩時所對應(yīng)的耐壓分別為1920V和250V。
以上,我們詳細(xì)討論了平面結(jié)和柱面結(jié)的耐壓差異的原因,并結(jié)合1200V-IGBT的摻雜濃度,計(jì)算了具體的雪崩電場和耐受電壓。按照相同邏輯,結(jié)合球坐標(biāo)系,對球面結(jié)的雪崩電場和耐受電壓進(jìn)行計(jì)算。
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