為了測量電磁鐵和永久磁鐵產(chǎn)生的從10-6到102T的非均勻磁通密度，通常使用帶霍爾探頭的特斯拉計(jì)。為了同時(shí)測量磁通密度的三個(gè)正交分量，需要使用三軸霍爾探頭。根據(jù)目前傳統(tǒng)的的技術(shù)水平，三軸霍爾探頭由三個(gè)霍爾板組成，這三個(gè)霍爾板分別位于一個(gè)小立方體的三個(gè)相互正交的面上。單個(gè)霍爾板的尺寸及其定位公差嚴(yán)重限制了可實(shí)現(xiàn)的空間分辨率和測量磁通密度矢量的角度精度。此外，連接霍爾裝置的導(dǎo)線中的電磁感應(yīng)也限制了這種霍爾探頭的有用帶寬。此外，平面霍爾效應(yīng)通常會(huì)產(chǎn)生額外的誤差。在基于量子阱的霍爾板中，平面霍爾效應(yīng)很弱，但問題依然存在。為了解決這個(gè)問題，在一個(gè)點(diǎn)上檢測三個(gè)方向的磁性。SENIS開發(fā)了一種劃時(shí)代的“完全集成3軸磁傳感器”，使之成為可能。這就是“完全集成的三軸磁傳感器”。該傳感器可以在所有情況下測量精確的3D矢量，例如永磁體的鄰近磁場、小線圈產(chǎn)生的磁場和時(shí)間變化，這在過去是不可能的。圖1.傳統(tǒng)的霍爾片3軸探頭（左）和SENIS完全集成3軸磁傳感器（右）

一、完全專利技術(shù)的SENIS完全集成3軸磁傳感器

二、SENIS完全集成三軸磁傳感器的功能

除了磁傳感器外，完全集成的3軸磁傳感器還集成了偏置電路和放大器，以提高頻率特性和抗噪性，甚至在寬度僅為0.64 m 的單個(gè)芯片上集成了溫度傳感器，用于因溫度變化而進(jìn)行靈敏度校正。1.敏感區(qū)域僅為0.15mm × 0.1mm × 0.15mm2.3個(gè)方向相對角度誤差在±0.1以內(nèi)3.頻率響應(yīng)：高達(dá)25Khz（-3db）4.溫度特性±100ppm/°C

三、SENIS完全集成三軸磁傳感器放大圖

四、SENIS完全集成三軸磁傳感器詳細(xì)信息

圖2. 磁性傳感器內(nèi)部有5個(gè)感磁區(qū)域。通過取BZ1和BZ2的平均值，虛擬地求出By傳感器位置的Bz磁場。同樣地，通過取Bx1和Bx2平均值來求出By傳感器位置的Bx磁場，可在同一點(diǎn)上收集Bx、By、Bz。

五、搭配SENIS完全集成三軸磁傳感器的霍爾探頭類型：

六、搭配SENIS完全集成三軸磁傳感器的高斯計(jì)/特斯拉計(jì)匯總類型：

SENIS數(shù)字特斯拉計(jì)/高斯計(jì)基于SENIS的模擬磁場傳感器電子設(shè)備，其頂部添加了數(shù)字模塊，具有顯示器，通信端口，數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)校正等。SENTIS提供不同類型的特斯拉計(jì)，具有不同的磁性分辨率，精度，f帶寬，噪聲水平和功能和處理選項(xiàng)（手持式，臺(tái)式，機(jī)架式）3MH3特斯拉計(jì)，適用于工業(yè)和實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用，具有良好的精度，分辨率和f帶寬。3MH6臺(tái)式特斯拉計(jì)，用于實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用，具有非常高的分辨率和精度以及良好的f帶寬。3MTS手持式特斯拉計(jì)，探頭支架堅(jiān)固，精度高1 軸、2 軸或 3 軸 Nanoteslameter 。3NTA1，用于極低磁場。