掃描電鏡按構造和用處可分為透射式電子顯微鏡、掃描式電子顯微鏡、反射式電子顯微鏡和發射式電子顯微鏡等。

掃描電鏡常用于察看那些用普通顯微鏡所不能分辨的纖細物質構造，次要用于察看固體外表的形貌，也能與X射線衍射儀或電子能譜儀相結合，構成電子微探針，用于物質成分剖析;發射式電子顯微鏡用于自發射電子外表的研討。因電子束穿透樣品后，再用掃描電鏡成像縮小而得名，它的光路與光學顯微鏡相仿，可以直接取得一個樣本的投影。

經過改動物鏡的透鏡零碎人們可以直接縮小物鏡的焦點的像，由此人們可以取得電子衍射像，運用這個像可以剖析樣本的晶體結構，在這種掃描電鏡中，圖像細節的對比度是由樣品的原子對電子束的散射構成的，由于電子需求穿過樣本，因而樣本必需薄。樣本的厚度可以從數納米到數微米不等。

原子量越高、電壓越低，樣本就必需越薄。樣品較薄或密度較低的局部，電子束散射較少，這樣就有較多的電子經過物鏡光闌，參與成像，在圖像中顯得較亮。反之，樣品中較厚或較密的局部，在圖像中則顯得較暗。假如樣品太厚或過密，則像的對比度就會好轉，甚至會因吸收電子束的能量而被損傷或毀壞。掃描電鏡的操作步驟及日常維護、保養注意事項如下：

1、去掉防塵罩，翻開電源

2、將試樣置于載物臺墊片，調整粗/微調旋鈕停止調焦，直到察看到的圖像明晰為止

3、調整載物臺地位，找到要察看的視場，停止鏡像剖析

4、掃描電鏡調焦時留意不要使物鏡碰到試樣，以免劃傷物鏡

5、當載物臺墊片圓孔中心的地位遠離物鏡中心地位時不要切換物鏡，以免劃傷物鏡

6、亮度調整切忌忽大忽小，也不要過亮，影響燈泡的使用壽命，同時也有損視力

7、所有(功能)切換，舉措要輕，要到位

8、關機時要將亮度調到小

9、非專業人員不要調整金相顯微鏡照明零碎(燈絲地位等)，以免影響成像質量

10、改換鹵素燈時要留意低溫，以免灼傷;留意不要用手直接接觸鹵素燈的玻璃體

審核編輯 黃宇