功能材料分析的關鍵工具

場發射掃描電鏡（FE-SEM）是現代科學研究中不可或缺的工具，尤其在功能材料分析、微納結構觀測以及結構組分分析等領域。

高分辨場發射掃描電鏡的優勢

與傳統的掃描電鏡相比，高分辨場發射掃描電鏡在形貌觀察和尺寸檢測方面具有顯著優勢。它的簡便性和可操作性強，使得研究人員能夠更加直觀地觀察材料的微觀結構，從而在科學研究和工業應用中發揮重要作用。

樣品制備的重要性

在進行材料樣品的組分分析時，樣品的制備方法至關重要。不當的制樣方法可能會導致形貌失真和成分比例誤差，從而影響分析結果的準確性。因此，選擇合適的制樣方法對于獲得準確的電鏡表征至關重要。

離子束研磨儀的應用

離子束研磨技術是一種適用于多種材質樣品的高質量切割截面或拋光平面的解決方案。

離子研磨前金屬絲截面BSE圖

離子研磨前后的對比

以金屬絲樣品為例，該樣品包含鉑（Pt）和鎳（Ni）兩種成分。在未進行離子研磨前，掃描電鏡下的形貌顯示，雖然可以分辨出亮度高的Pt元素和亮度低的Ni元素，但兩種成分之間并沒有明顯的界限，且樣品表面存在污染物，這可能會影響Pt和Ni的定量分析。

離子研磨后金屬絲截面BSE圖

離子研磨后的效果

經過離子束研磨后，樣品的截面結構得到了顯著改善。電鏡結果顯示，樣品表面平整、干凈無污染，且Pt和Ni兩種成分有明顯的分界。通過EDS結果進一步證實了樣品由Pt和Ni兩種元素組成，其中Ni位于樣品中間，而Pt位于樣品邊緣。

離子研磨后金屬絲截面EDS結果

樣品處理方法的選擇

獲得樣品的真實結構信息是進行電鏡表征的關鍵。因此，在進行電鏡分析前，用戶需要選擇合適的樣品處理方法。離子束研磨技術以其對樣品損傷小、能夠暴露樣品內部真實結構信息的特點，成為了一種有效的樣品處理方法。通過選擇合適的制樣方法，可以確保電鏡分析的準確性和可靠性，從而為科學研究和工業應用提供強有力的支持。