在光學(xué)應(yīng)用中，如光通信、光學(xué)穩(wěn)像、激光加工、激光合束等應(yīng)用中，光路調(diào)節(jié)是必不可少的過程，也是一個(gè)逐步優(yōu)化的過程，需要不斷的調(diào)整光路，優(yōu)化光的傳播路徑，由于光是以電磁波的形式進(jìn)行傳播，光的波長(zhǎng)一般在微米、納米之間，所以在光路調(diào)節(jié)時(shí)通常需要非常高的精度和快速的響應(yīng)速度，從而獲得更為精準(zhǔn)的結(jié)果。壓電偏轉(zhuǎn)鏡可為光路調(diào)節(jié)提供高精度、快速的反應(yīng)速度和更高的頻率，且采用閉環(huán)控制系統(tǒng)具有更高的定位精度，實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)定位和控制。

S31系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡

S31系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡是一款大行程二維壓電偏轉(zhuǎn)鏡，內(nèi)部采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，使θx、θy軸具有同樣的高性能，保證其高運(yùn)動(dòng)精度和穩(wěn)定性，偏轉(zhuǎn)角度可達(dá)8.5mrad，通過內(nèi)置高精度傳感器可進(jìn)行閉環(huán)控制，閉環(huán)分辨率可達(dá)0.5μrad，可帶載φ12.7mm鏡片進(jìn)行二維偏擺運(yùn)動(dòng)。其緊湊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，體積更為小巧，可符合更多小型化、高速化、精準(zhǔn)化的應(yīng)用場(chǎng)景。實(shí)物如下圖所示。

產(chǎn)品特點(diǎn)

θx、θy二維偏轉(zhuǎn)

偏轉(zhuǎn)范圍可達(dá)8.5mrad

分辨率可達(dá)0.05μrad

空載諧振頻率可達(dá)12kHz

產(chǎn)品應(yīng)用

1. 衛(wèi)星激光通信：在衛(wèi)星光通信中，由于大氣中的環(huán)境因素（如折射、散射、大氣湍流等）和激光束自身光束窄、發(fā)散角度小等問題，產(chǎn)生光路不穩(wěn)定、抖動(dòng)等現(xiàn)象，使得激光光束在瞄準(zhǔn)過程中容易聚焦困難偏離目標(biāo)，導(dǎo)致通信差的問題。通過壓電偏轉(zhuǎn)鏡對(duì)光束超高精度的方向調(diào)整，以及毫秒量級(jí)的快速響應(yīng)可以很好的校正誤差，進(jìn)行光信號(hào)間的瞄準(zhǔn)、捕獲和跟蹤。

2. 光學(xué)成像：在光學(xué)成像過程中，由于平臺(tái)振動(dòng)和姿態(tài)隨機(jī)擾動(dòng)等各種影響因素都會(huì)使相機(jī)光軸偏移，使目標(biāo)與聚焦面相對(duì)運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生像移，會(huì)導(dǎo)致成像模糊的問題。利用壓電偏轉(zhuǎn)鏡對(duì)實(shí)時(shí)采集圖像與參考圖像間相對(duì)位移量進(jìn)行補(bǔ)償、實(shí)時(shí)修正，可在確定的曝光時(shí)間內(nèi)得到高分辨率的圖像。

3. 激光加工：壓電偏轉(zhuǎn)鏡非常適用于集成到加工孔徑及孔距在微米級(jí)小孔的高精度超快激光加工應(yīng)用中。由于壓電偏轉(zhuǎn)鏡高精度、快速響應(yīng)速度等特點(diǎn)，可以解決微小孔加工精度低、孔徑不圓滑等問題。

4. 激光合束：激光合束是將多個(gè)激光束合并成一個(gè)激光束的過程，通過壓電偏轉(zhuǎn)鏡對(duì)光束進(jìn)行反射、偏轉(zhuǎn)、匯聚等光路轉(zhuǎn)換方式進(jìn)行多束光合成。

技術(shù)參數(shù)

配套控制器

E80.D3S/K-O壓電控制器

E80.D3S/K-O壓電控制器主要為驅(qū)動(dòng)壓電偏轉(zhuǎn)鏡而研發(fā)設(shè)計(jì)，具有3個(gè)輸出通道，其中第3路為恒壓輸出，適于差分驅(qū)動(dòng)。采用20~30VDC供電，模擬閉環(huán)，數(shù)字控制，帶寬10kHz。它具有兩種形式，可選機(jī)箱封裝式或卡板式。

E80.B5S板卡式控制器

它是一款五通道輸出的壓電控制器，專為同時(shí)驅(qū)動(dòng)兩臺(tái)壓電偏轉(zhuǎn)鏡而研發(fā)設(shè)計(jì)。它采用DC28V供電，輸出電壓為-20V~120V（可選 -20V~100V/150V），尺寸僅有222×180×40mm^3，它以板卡式小體積的特點(diǎn)解決了應(yīng)用空間受限的問題，并且E80.B5S使用特殊的元器件，并進(jìn)行多項(xiàng)處理，使其適用于宇航級(jí)應(yīng)用。

審核編輯 黃宇