iFocus自動(dòng)對(duì)焦模塊
iFocus實(shí)時(shí)自動(dòng)對(duì)焦模塊是51camera的合作廠商iCore的明星產(chǎn)品。它可實(shí)時(shí)自動(dòng)對(duì)焦,主要應(yīng)用于高倍率光學(xué)系統(tǒng)的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)(AOI),可在半導(dǎo)體和顯示器檢測(cè)中,實(shí)時(shí)測(cè)量目標(biāo)物體的位置,并采集光學(xué)圖像以快速檢測(cè)1μm或更低的缺陷。
iFocus自動(dòng)對(duì)焦模塊具有自動(dòng)對(duì)焦功能,可自動(dòng)對(duì)焦,由于在高倍放大光學(xué)系統(tǒng)中,光場(chǎng)深度(DOF)非常淺,改變物體的高度可能會(huì)導(dǎo)致焦點(diǎn)偏離,該模塊提供了一個(gè)測(cè)量距離并實(shí)時(shí)保持目標(biāo)對(duì)象與光學(xué)系統(tǒng)之間恒定距離的解決方案。下面我們來(lái)看看自動(dòng)對(duì)焦模塊IT-AFM-V1的相關(guān)信息。
自動(dòng)對(duì)焦模塊
IT-AFM-V1通過(guò)在現(xiàn)有光學(xué)系統(tǒng)中安裝AF相機(jī)和線激光器來(lái)配置硬件,同時(shí)使用光學(xué)三角測(cè)量法。允許AF相機(jī)捕獲激光束從待拍攝的目標(biāo)反射的位置。AF相機(jī)根據(jù)像素中的焦距計(jì)算出變化的長(zhǎng)度,并通過(guò)實(shí)時(shí)控制電機(jī)來(lái)保持焦距。
由于模塊中配備了FPGA,因此可以在最大1.2kHz的頻率下測(cè)量位置,并在圖像的所有區(qū)域中保證均勻的質(zhì)量。
01性能特點(diǎn)
IT-AFM-V1具有以下性能特點(diǎn):
采用光學(xué)三角測(cè)量法的實(shí)時(shí)自動(dòng)對(duì)焦
采樣率1.0kHz
捕獲范圍±1500μm
自動(dòng)曝光和自動(dòng)激光控制
噪聲處理功能
02規(guī)格參數(shù)
iFocus自動(dòng)對(duì)焦模塊規(guī)格表
型號(hào) | IT-AFM-VI |
---|---|
采樣率 | 最高 1.0kHz |
感應(yīng)類型 | 光學(xué)三角測(cè)量 |
管理模塊 | 1.0X倍率,21mm成像圈 |
芯片 | 自動(dòng)曝光/自動(dòng)激光控制 通過(guò)PD反饋控制激光亮度 多層檢測(cè)(最多5層) 支持實(shí)時(shí)圖形顯示 |
跟蹤模式 | 開/單次/連續(xù) |
運(yùn)動(dòng)控制 | 支持手動(dòng)/絕對(duì)/增量移動(dòng)支持硬件限制&軟件限制 自動(dòng)校準(zhǔn) |
接口 | RS-485(最高921.600bps) |
線性誤差 | <0.1%(根據(jù)光學(xué)性能變化) |
重復(fù)性 | <0.2μm(根據(jù)光學(xué)性能變化) |
沖程? | 10mm(±5mm) |
分辨率 | 0.05μm/pulse |
03應(yīng)用領(lǐng)域
FPD檢測(cè)
薄膜檢測(cè)
晶圓檢測(cè)
PCB檢測(cè)
玻璃檢測(cè)
04機(jī)械尺寸
配套軟件
IT-AFM-V1自動(dòng)對(duì)焦模塊可搭配軟件:
iTAF ConfiguratorVer1.2.1
-
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